[實(shí)用新型]單晶硅用水供給系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320756625.1
• 申請(qǐng)日: 2013-11-25
• 公開（公告）號(hào): CN203728673U
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭劍剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州市江南環(huán)保設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): C02F9/06
• 分類號(hào): C02F9/06;C02F1/44
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211
• 代理人: 何學(xué)成

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉一種單晶硅用水供給系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在冶金、石化、電子行業(yè)中，產(chǎn)品生產(chǎn)的原料用水、工藝用水或成品沖洗用水若直接采用原水或一般處理工藝，不能滿足需求。針對(duì)這些行業(yè)用水量大、水質(zhì)要求高的情況，必須對(duì)原水進(jìn)行相應(yīng)的處理。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種單晶硅用水供給系統(tǒng)，本實(shí)用新型能夠提高原水的水質(zhì)，適用于水質(zhì)要求高的工業(yè)生產(chǎn)行業(yè)。

解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下：

單晶硅用水供給系統(tǒng)，包括多介質(zhì)過濾器、活性碳過濾器、水質(zhì)軟化器、一級(jí)RO裝置、中間水箱、連續(xù)電子除鹽裝置以及總有機(jī)碳分析儀，多介質(zhì)過濾器的輸出端與活性碳過濾器的輸入端連接，活性碳過濾器的輸出端與水質(zhì)軟化器的輸入端連接，水質(zhì)軟化器的輸出端與一級(jí)RO裝置的輸入端連接，一級(jí)RO裝置的輸出端與中間水箱的輸入端連接，中間水箱的輸出端與連續(xù)電子除鹽裝置的輸入端連接，連續(xù)電子除鹽裝置的輸出端與總有機(jī)碳分析儀的輸入端連接。

還包括氮?dú)獗Ｗo(hù)水箱、微孔過濾器，氮?dú)獗Ｗo(hù)水箱的輸入端連接于連續(xù)電子除鹽裝置的輸出端，氮?dú)獗Ｗo(hù)水箱的輸出端與微孔過濾器的輸入端連接。

還包括一個(gè)精混床，該精混床連接于氮?dú)獗Ｗo(hù)水箱和微孔過濾器之間。

采用了上述方案，本實(shí)用新型通過多介質(zhì)過濾器、活性碳過濾器、水質(zhì)軟化器、一級(jí)RO裝置、連續(xù)電子除鹽裝置對(duì)原水進(jìn)行處理后，使得水質(zhì)大幅度得到提高，能夠滿足單晶硅生產(chǎn)的需求。

本實(shí)用新型不但滿足單晶硅的生產(chǎn)，而且還適用于涂裝、藥品、精密電子、光伏電子、表面清洗等水質(zhì)要求極高的工業(yè)生產(chǎn)行業(yè)也同樣適用，具有應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的單晶硅用水供給系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖中，1為多介質(zhì)過濾器，2為活性碳過濾器，3為水質(zhì)軟化器，4為一級(jí)RO裝置，5為中間水箱，6為連續(xù)電子除鹽裝置，7為總有機(jī)碳分析儀，8為氮?dú)獗Ｗo(hù)水箱，8為微孔過濾器，9為微孔過濾器，10為精混床。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。

參照?qǐng)D1，本實(shí)用新型的單晶硅用水供給系統(tǒng)，包括多介質(zhì)過濾器1、活性碳過濾器2、水質(zhì)軟化器3、一級(jí)RO裝置4、中間水箱5、連續(xù)電子除鹽裝置6以及總有機(jī)碳分析儀7。多介質(zhì)過濾器1的輸出端與活性碳過濾器2的輸入端連接，活性碳過濾器2的輸出端與水質(zhì)軟化器3的輸入端連接，水質(zhì)軟化器3的輸出端與一級(jí)RO裝置4的輸入端連接，一級(jí)RO裝置4的輸出端與中間水箱5的輸入端連接，中間水箱5的輸出端與連續(xù)電子除鹽裝置6的輸入端連接，連續(xù)電子除鹽裝置6的輸出端與總有機(jī)碳分析儀7的輸入端連接。還包括氮?dú)獗Ｗo(hù)水箱8、微孔過濾器9，氮?dú)獗Ｗo(hù)水箱8的輸入端連接于連續(xù)電子除鹽裝置7的輸出端，氮?dú)獗Ｗo(hù)水箱8的輸出端與微孔過濾器9的輸入端連接。還包括一個(gè)精混床10，該精混床10連接于氮?dú)獗Ｗo(hù)水箱8和微孔過濾器9之間。