[實用新型]單晶硅用水供給系統有效

申請號：	201320756625.1	申請日：	2013-11-25
公開（公告）號：	CN203728673U	公開（公告）日：	2014-07-23
發明（設計）人：	彭劍剛	申請（專利權）人：	常州市江南環保設備有限公司
主分類號：	C02F9/06	分類號：	C02F9/06;C02F1/44
代理公司：	常州市維益專利事務所 32211	代理人：	何學成
地址：	213022 江***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	單晶硅供給系統
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【權利要求書】：

1.一種單晶硅用水供給系統，其特征在于：包括多介質過濾器、活性碳過濾器、水質軟化器、一級RO裝置、中間水箱、連續電子除鹽裝置以及總有機碳分析儀，多介質過濾器的輸出端與活性碳過濾器的輸入端連接，活性碳過濾器的輸出端與水質軟化器的輸入端連接，水質軟化器的輸出端與一級RO裝置的輸入端連接，一級RO裝置的輸出端與中間水箱的輸入端連接，中間水箱的輸出端與連續電子除鹽裝置的輸入端連接，連續電子除鹽裝置的輸出端與總有機碳分析儀的輸入端連接。

2.根據權利要求1所述的單晶硅用水供給系統，其特征在于：還包括氮氣保護水箱、微孔過濾器，氮氣保護水箱的輸入端連接于連續電子除鹽裝置的輸出端，氮氣保護水箱的輸出端與微孔過濾器的輸入端連接。

3.根據權利要求2所述的單晶硅用水供給系統，其特征在于：還包括一個精混床，該精混床連接于氮氣保護水箱和微孔過濾器之間。

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