[實用新型]一種改進型粉體材料表面等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 201320755494.5
• 申請日: 2013-11-27
• 公開（公告）號: CN203562392U
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 沈文凱;王紅衛
• 申請（專利權）人: 蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 孟宏偉

1.一種改進型粉體材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，包括外殼、電極組件、等離子發生器和氣體分布板，所述外殼頂部設置有用于排出氣體的抽氣口，所述外殼底部設置有用于通入反應氣體的氣體入口，所述外殼內設置有反應腔室，所述電極組件設置于所述反應腔室外表面上，所述氣體分布板設置于所述反應腔室內，所述電極組件設置于所述氣體分布板上方，所述氣體分布板上設置有若干用于反應氣體進入的氣孔，所述電極組件與所述等離子發生器電連接。

2.?根據權利要求1所述的改進型粉體材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，所述電極組件為螺旋狀電極。

3.根據權利要求2所述的改進型粉體材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，所述螺旋狀電極為立體螺旋狀電極或平面螺旋狀電極。

4.根據權利要求1-3任一所述的改進型粉體材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，所述等離子發生器包括用于調節所述電極組件功率的電源和與所述電源連接的匹配器，所述匹配器還與所述電極組件電連接。

5.根據權利要求4所述的改進型粉體材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，還包括用于排出氣體的氣泵，所述氣泵與所述抽氣口連接，氣泵與抽氣口之間還設置有過濾器。

6.根據權利要求5所述的改進型粉體材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，還包括用于提供反應氣體的氣源，所述氣源與所述氣體入口連接。