[實用新型]一種改進型粉體材料表面等離子體處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320755494.5
• 申請日: 2013-11-27
• 公開（公告）號: CN203562392U
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 沈文凱;王紅衛(wèi)
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232
• 代理人: 孟宏偉

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及等離子體處理裝置，尤其涉及一種改進型粉體材料表面等離子體處理裝置。

背景技術(shù)

低溫等離子體表面處理是：在負壓（真空）下，給反應(yīng)氣體環(huán)境施加高頻電場，氣體在高頻電場的激勵下電離，產(chǎn)生等離子體。等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，其中含有大量的電子、離子和自由基等各種活性粒子，活性粒子與材料表面發(fā)生物理和化學(xué)反應(yīng)，從而使材料表面的結(jié)構(gòu)、成分和基團發(fā)生變化，得到滿足實際要求的表面。等離子體反應(yīng)速度快、處理效率高，而且改性僅發(fā)生在材料表面，對材料內(nèi)部本體材料的性能沒有影響，是理想的表面改性手段。

粉體是一種干燥、分散的固體顆粒組成的細微粒子。現(xiàn)有技術(shù)中，等離子體處理裝置在處理粉體表面時，由于粉體堆積，微粒間的團聚使得沒有暴露在等離子體氣氛中的表面得不到處理，難以實現(xiàn)微粒表面全部處理，導(dǎo)致處理不完全、不均勻，處理效果差。

因此，亟需一種處理效果好的粉體材料表面等離子體處理裝置。

實用新型內(nèi)容

?本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種改進型粉體材料表面等離子體處理裝置。

實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是：一種改進型粉體材料表面等離子體處理裝置，包括外殼、電極組件、等離子發(fā)生器和氣體分布板，所述外殼頂部設(shè)置有用于排出氣體的抽氣口，所述外殼底部設(shè)置有用于通入反應(yīng)氣體的氣體入口，所述外殼內(nèi)設(shè)置有反應(yīng)腔室，所述電極組件設(shè)置于所述反應(yīng)腔室外表面上，所述氣體分布板設(shè)置于所述反應(yīng)腔室內(nèi)，所述電極組件設(shè)置于所述氣體分布板上方，所述氣體分布板上設(shè)置有若干用于反應(yīng)氣體進入的氣孔，所述電極組件與所述等離子發(fā)生器電連接。

?進一步的，所述電極組件為螺旋狀電極。

進一步的，所述螺旋狀電極為立體螺旋狀電極或平面螺旋狀電極。

進一步的，所述等離子發(fā)生器包括用于調(diào)節(jié)所述電極組件功率的電源和與所述電源連接的匹配器，所述匹配器還與所述電極組件電連接。

進一步的，還包括用于排出氣體的氣泵，所述氣泵與所述抽氣口連接，氣泵與抽氣口之間還設(shè)置有過濾器。

進一步的，還包括用于提供反應(yīng)氣體的氣源，所述氣源與所述氣體入口連接。

本實用新型具有積極的效果：本實用新型氣體入口通入反應(yīng)氣體，反應(yīng)氣體從氣體分布板的氣孔進入反應(yīng)腔室內(nèi)并同時吹送粉體材料向上運動，電極組件通電形成高頻電場將反應(yīng)氣體電離對粉體材料表面處理，避免了粉體材料堆積無法完全均勻的處理，處理效果好，提高工作效率。

附圖說明

為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中：

圖1為本實用新型第一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型第一實施例中電極組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型第二實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1、氣源，2、氣體入口，3、氣體分布板，4、電極組件，5、過濾器，6、氣泵，7、匹配器，8、供電等離子發(fā)生器，9、抽氣口，10、外殼。

具體實施方式

實施例1

如圖1至圖2所示，本實用新型第一實施例提供一種改進型粉體材料表面等離子體處理裝置，包括外殼10、電極組件4、等離子發(fā)生器和氣體分布板3，外殼10頂部設(shè)置有用于排出氣體的抽氣口9，外殼10底部設(shè)置有用于通入反應(yīng)氣體的氣體入口2，外殼10內(nèi)設(shè)置有反應(yīng)腔室（圖中未示出），電極組件4設(shè)置于反應(yīng)腔室外表面上，氣體分布板3設(shè)置于反應(yīng)腔室內(nèi)，電極組件4設(shè)置于氣體分布板3上方，氣體分布板3上設(shè)置有若干用于反應(yīng)氣體進入的氣孔（圖中未示出），電極組件4為平面螺旋狀電極，等離子發(fā)生器包括用于調(diào)節(jié)電極組件4功率的電源8和與電源8連接的匹配器7，匹配器還與電極組件4連接。

本實施例氣體入口2通入反應(yīng)氣體，反應(yīng)氣體從氣體分布板3的氣孔進入反應(yīng)腔室內(nèi)并同時吹送粉體材料向上運動，平面螺旋狀電極通電并在附近形成高頻電場將反應(yīng)氣體電離對粉體材料表面處理，避免了粉體材料堆積無法完全均勻的處理，處理效果好，提高工作效率；匹配器7可以根據(jù)需求調(diào)節(jié)電極組件4的功率，從而調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體的電離效果。

實施例2

如圖2所示，其余與實施例1相同，不同之處在于，本實施例還包括用于排出氣體的氣泵6和用于提供反應(yīng)氣體的氣源1，氣泵6與抽氣口9連接，氣泵6與抽氣口9之間還設(shè)置有過濾器5，氣源1與氣體入口2連接，螺旋狀電極為立體螺旋狀電極。

本實施例增加過濾器5可以有效防止反應(yīng)腔室內(nèi)的粉體材料被抽出；立體螺旋狀電極可以增大高頻電場空間，提高工作效率。

?以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。