[實用新型]電子束除氧與初步鑄錠耦合制備多晶硅的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320747322.3 | 申請日： | 2013-11-22 |
| 公開（公告）號： | CN203559160U | 公開（公告）日： | 2014-04-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 安廣野;郭校亮;王登科;姜大川;譚毅 | 申請（專利權）人： | 青島隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06;C01B33/037 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266234 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電子束 初步 鑄錠 耦合 制備 多晶 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種電子束除氧與初步鑄錠耦合制備多晶硅的裝置，爐體頂部通連安裝有電子槍，側部上端開有充氣閥，下端開有放氣閥，其特征在于爐體內放置有石英坩堝，石英坩堝外壁由內向外依次環(huán)繞有石墨加熱器和石墨碳氈，石墨碳氈頂部安裝有保溫蓋，石英坩堝底部中央位置開設有孔，且石英坩堝底部安裝有水冷銅底座。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種電子束除氧與初步鑄錠耦合制備多晶硅的裝置，其特征在于所述孔的面積為石英坩堝底部面積的20～35%。
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