[實用新型]一種大尺寸碳化硅晶體生長的感應線圈有效
| 申請號： | 201320740351.7 | 申請日： | 2013-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN203546207U | 公開（公告）日： | 2014-04-16 |
| 發明（設計）人： | 段聰;趙梅玉;高宇;鄧樹軍;陶瑩 | 申請（專利權）人： | 河北同光晶體有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京輕創知識產權代理有限公司 11212 | 代理人： | 楊立 |
| 地址： | 071000 河北省保定市北二*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 尺寸 碳化硅 晶體生長 感應 線圈 | ||
【權利要求書】：
1.一種大尺寸碳化硅晶體生長的感應線圈，其特征在于:包括線圈（1）和水路接頭（2）；所述線圈（1）為橫截面是矩形的多層螺旋盤管狀；所述水路接頭（2）有兩個分別焊接在所述線圈（1）兩端的伸出部分。
2.根據權利要求1所述的一種大尺寸碳化硅晶體生長的感應線圈，其特征在于：所述線圈（1）橫截面矩形的長寬比例為1:2，所述線圈（1）橫截面矩形的寬邊與坩堝的外表面平行。
3.根據權利要求1或2所述的一種大尺寸碳化硅晶體生長的感應線圈，其特征在于：所述線圈（1）層與層之間的間距為5mm。
4.根據權利要求3所述的一種大尺寸碳化硅晶體生長的感應線圈，其特征在于：所述水路接頭（2）為S形狀。
5.根據權利要求1或2所述的一種大尺寸碳化硅晶體生長的感應線圈，其特征在于：所述水路接頭（2）為S形狀。
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