[實用新型]晶圓打印作業設備

有效

• 申請號: 201320729198.8
• 申請日: 2013-11-18
• 公開（公告）號: CN203580356U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 鄭煒彥;賴正鑫;陳彥瑋
• 申請（專利權）人: 臺灣暹勁股份有限公司
• 主分類號: B41J3/407
• 分類號: B41J3/407;B41J3/44;B41J11/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

技術領域

本實用新型涉及一種可防止晶圓的非打印面受損，并使晶圓打印面的各部位接續位于作業區，以供打印器朝上對晶圓打印，進而易于打印及提升晶圓品質的晶圓打印作業設備。

背景技術

晶圓半導體制程，先在晶圓上規劃出數量繁多的晶片，為確保晶圓合格率及避免后段封裝制程的成本浪費，于切割晶圓的前，會對晶圓進行測試作業，以檢測晶圓上的各晶片是否受損，于檢測作業完畢后，將復數個晶圓收置于晶舟盒中，并運送至打印作業設備，打印作業設備依檢測結果在晶圓上打印標記，而標示出次級品晶片或不良品晶片等，以利后續晶圓切割作業及分類作業；然請參閱圖1，目前晶圓11的正面111具有精密電路，而反面112則供打印標記，于執行晶圓打印作業時，將晶圓11的正面111朝向下方，并放置于打印作業設備的承置座12上，令晶圓11待打印的反面112朝向上方，打印作業設備再利用位于承置座12上方的激光打印器13朝下對晶圓11的反面112進行打印標記作業；惟此一打印作業設備對于正、反面111、112均可碰觸的晶圓11，尚可進行打印標記作業，但晶圓的設計日趨精密，部份型式的晶圓于正面配置精密電路后，即必須避免正面碰觸到其他物件，以防止精密電路受損，若將晶圓的正面朝下放置于承置座12，令晶圓的背面朝上，以供激光打印器13由上朝下對晶圓的反面進行打印，即會使晶圓的正面受損，故此一型式的晶圓并無法應用該打印作業設備進行打印作業，該打印作業設備的使用范圍受限，再者，若將激光打印器13配置于承置座12的下方，并令承置座12承置正面朝上的晶圓，該承置座12勢必要開設通孔，方可供位于下方的激光打印器13朝上對晶圓的反面進行打印作業，但晶圓為一圓形片體，當晶圓放置于承置座12時，因通孔處并無任何支撐設計，即會產生彎曲變形，導致激光打印器13朝上對彎曲變形的晶圓的反面進行打印作業，以致影響打印品質，故欲使激光打印器13朝上對晶圓的反面進行打印作業時，即必須考量如何支撐晶圓而防止變形，以及支撐設計必須回避激光打印器13，使激光打印器13順利朝上對晶圓的反面各部位進行打印作業，因此，如何提供一種可使正面朝上的晶圓保持水平放置于承置座，并使激光打印器朝上對晶圓的反面進行打印作業，而防止晶圓的正面受損及提升打印品質的設計，即為業者研發的標的。

發明內容

針對現有技術的不足，本實用新型的目的在于：提供一種晶圓打印作業設備，可使正面朝上的晶圓保持水平放置于承置座，并使激光打印器朝上對晶圓的反面進行打印作業，而防止晶圓的正面受損及提升打印品質。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

一種晶圓打印作業設備，其特征在于，包含：

機臺；

打印裝置：配置于機臺，并設有至少一執行晶圓打印作業的打印器；

承載轉位裝置：裝配于機臺，并位于打印裝置的上方，該承載轉位裝置設有復數個承載器，該復數個承載器包含第一、二承載器，該第一承載器承置打印面朝下的晶圓，并在相對應打印器的位置設有通孔，該第二承載器位于第一承載器的通孔處，并設有承置晶圓的支撐件，該支撐件遮蔽通孔的局部，并令該通孔未遮蔽的部位形成供打印器朝上對晶圓打印的作業區，該承載轉位裝置設有具有至少一驅動器的驅動機構，該驅動機構以驅動器驅動至少一承載器帶動晶圓旋轉，使晶圓的待打印部位對應于該作業區以供打印。

在較佳的技術方案中，還可增加如下技術特征：

該承載轉位裝置于機臺設有多層式的調整平臺，該調整平臺于相對應打印器的位置開設有穿孔，并承置第一、二承載器，以帶動第一、二承載器作Ｘ－Ｙ方向位移調整，另該承載轉位裝置的第二承載器于支撐件的底面固設有復數支立桿，用來架置于調整平臺。

該承載轉位裝置的第一承載器包含轉動座及承置件，該轉動座于相對應打印器的位置開設有第一通孔，該承置件裝配于轉動座的上方，并承置晶圓，在相對應轉動座的第一通孔位置開設有第二通孔。

該承載轉位裝置的驅動機構設有第一驅動器及第二驅動器，該第一驅動器用來驅動第一承載器的轉動座轉動，第二驅動器裝配于轉動座與承置件間，而帶動承置件作Ｚ方向位移。

該承載轉位裝置的第一承載器的承置件及第二承載器的支撐件分別設有至少一定位晶圓的定位件。

該承載轉位裝置于第二承載器的支撐件下方裝配有至少一作Ｚ方向位移的頂置件，用來頂置晶圓。

該承載轉位裝置于第二承載器的支撐件開設有至少一透孔，在支撐件的下方設置有壓缸，壓缸驅動頂置件于支撐件的透孔作Ｚ方向位移伸縮作動。