[實用新型]晶圓打印作業設備

有效

• 申請號: 201320729198.8
• 申請日: 2013-11-18
• 公開（公告）號: CN203580356U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 鄭煒彥;賴正鑫;陳彥瑋
• 申請（專利權）人: 臺灣暹勁股份有限公司
• 主分類號: B41J3/407
• 分類號: B41J3/407;B41J3/44;B41J11/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

1.一種晶圓打印作業設備，其特征在于，包含：

機臺；

打印裝置：配置于機臺，并設有至少一執行晶圓打印作業的打印器；

承載轉位裝置：裝配于機臺，并位于打印裝置的上方，該承載轉位裝置設有復數個承載器，該復數個承載器包含第一、二承載器，該第一承載器承置打印面朝下的晶圓，并在相對應打印器的位置設有通孔，該第二承載器位于第一承載器的通孔處，并設有承置晶圓的支撐件，該支撐件遮蔽通孔的局部，并令該通孔未遮蔽的部位形成供打印器朝上對晶圓打印的作業區，該承載轉位裝置設有具有至少一驅動器的驅動機構，該驅動機構以驅動器驅動至少一承載器帶動晶圓旋轉，使晶圓的待打印部位對應于該作業區以供打印。

2.根據權利要求1所述的晶圓打印作業設備，其特征在于，該承載轉位裝置于機臺設有多層式的調整平臺，該調整平臺于相對應打印器的位置開設有穿孔，并承置第一、二承載器，以帶動第一、二承載器作Ｘ－Ｙ方向位移調整，另該承載轉位裝置的第二承載器于支撐件的底面固設有復數支立桿，用來架置于調整平臺。

3.根據權利要求1所述的晶圓打印作業設備，其特征在于，該承載轉位裝置的第一承載器包含轉動座及承置件，該轉動座于相對應打印器的位置開設有第一通孔，該承置件裝配于轉動座的上方，并承置晶圓，在相對應轉動座的第一通孔位置開設有第二通孔。

4.根據權利要求3所述的晶圓打印作業設備，其特征在于，該承載轉位裝置的驅動機構設有第一驅動器及第二驅動器，該第一驅動器用來驅動第一承載器的轉動座轉動，第二驅動器裝配于轉動座與承置件間，而帶動承置件作Ｚ方向位移。

5.根據權利要求3所述的晶圓打印作業設備，其特征在于，該承載轉位裝置的第一承載器的承置件及第二承載器的支撐件分別設有至少一定位晶圓的定位件。

6.根據權利要求1所述的晶圓打印作業設備，其特征在于，該承載轉位裝置于第二承載器的支撐件下方裝配有至少一作Ｚ方向位移的頂置件，用來頂置晶圓。

7.根據權利要求6所述的晶圓打印作業設備，其特征在于，該承載轉位裝置于第二承載器的支撐件開設有至少一透孔，在支撐件的下方設置有壓缸，壓缸驅動頂置件于支撐件的透孔作Ｚ方向位移伸縮作動。

8.根據權利要求1所述的晶圓打印作業設備，其特征在于，該承載轉位裝置設有具有至少一調整器的微調機構，用來調整至少一承載器的θ水平角度。

9.根據權利要求8所述的晶圓打印作業設備，其特征在于，該承載轉位裝置的微調機構設有第一、二調整器，第一調整器用來驅動第一承載器及晶圓作較大角度旋轉的粗定位調整，第二調整器用來驅動第二承載器的支撐件及晶圓作較小角度旋轉的細定位調整。

10.根據權利要求9所述的晶圓打印作業設備，其特征在于，該微調機構的第二調整器在第二承載器的支撐件下方配置有馬達，馬達帶動一具有滾輪的擺動桿旋轉，在支撐件的底面設有具有導槽的固定件，該導槽可供擺動桿的滾輪嵌置且沿該導槽位移。