[實用新型]集成電路蓋膜撕除機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320725346.9
• 申請日: 2013-11-15
• 公開（公告）號: CN203674190U
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 顏邦純;葉鍵波;陳啟其;韓笑
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州長川科技有限公司
• 主分類號: H01L21/70
• 分類號: H01L21/70
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其是一種集成電路蓋膜撕除機構(gòu)。

背景技術(shù)

集成電路制造中傳送和計數(shù)方便，常把集成電路放在具有沿長度方向排列的凹坑的編帶里并用蓋膜覆蓋，在一些加工或檢測工序，需要撕除蓋膜把集成電路取出來；目前由于缺乏適用的集成電路蓋膜撕除機構(gòu)，存在撕除蓋膜效率較低且集成電路易受損傷的不足；因此，設(shè)計一種撕除蓋膜效率較高且集成電路不易損傷的集成電路蓋膜撕除機構(gòu)，成為亟待解決的問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了克服目前由于缺乏適用的集成電路蓋膜撕除機構(gòu)，存在撕除蓋膜效率較低且集成電路易受損傷的不足，提供一種撕除蓋膜效率較高且集成電路不易損傷的集成電路蓋膜撕除機構(gòu)。

本實用新型的具體技術(shù)方案是：

一種集成電路蓋膜撕除機構(gòu)，包括設(shè)有長槽的固定座、兩個分別位于長槽兩側(cè)并與固定座的上端連接的載帶導(dǎo)軌、蓋膜收集盒、編帶驅(qū)動定位裝置、蓋膜撕除裝置和斷帶檢測裝置。該集成電路蓋膜撕除機構(gòu)使用時，需要撕除蓋膜的集成電路的編帶從載帶導(dǎo)軌的后端放入并置于兩個載帶導(dǎo)軌上，編帶驅(qū)動定位裝置編帶向前運動到蓋膜分離處，手動分離集成電路編帶前端的蓋膜，蓋膜撕除裝置撕除蓋膜并將蓋膜送入蓋膜收集盒收集；斷帶檢測裝置檢測蓋膜有無斷裂。該集成電路蓋膜撕除機構(gòu)撕除蓋膜效率較高且集成電路不易損傷。

作為優(yōu)選，所述的蓋膜收集盒包括位于兩個載帶導(dǎo)軌上方且后端設(shè)有開口的盒體、與盒體后端固定連接的吹氣座和兩個位于盒體下端并與固定座固定連接的支腳。通過與壓縮空氣連接的吹氣座向盒體內(nèi)吹氣，可以防止蓋膜堆積在開口處。

作為優(yōu)選，所述的蓋膜撕除裝置包括位于蓋膜收集盒后側(cè)并與固定座上端固定連接的安裝座、與安裝座樞接的主動滾輪、與安裝座固定連接且輸出軸與主動滾輪傳動連接的撕帶電機、兩個中部各與安裝座的一側(cè)端鉸接的L形拉桿、位于主動滾輪上側(cè)且兩端分別與兩個L形拉桿的前端樞接的從動壓輪、兩個設(shè)有若干個插齒且分別與固定座固定連接的防卷帶壓塊、兩個各與一個L形拉桿的上端連接的調(diào)節(jié)桿、兩個后端各與一個調(diào)節(jié)桿連接的拉簧和兩個調(diào)節(jié)插銷；盒體的兩側(cè)端分別設(shè)有若干個沿前后排列的插孔，每個插銷穿過一個拉簧的前端插入一個插孔中；主動滾輪和從動壓輪的側(cè)圍沿軸向設(shè)有若干個環(huán)形凹槽；兩個防卷帶壓塊的插齒分別位于主動滾輪和從動壓輪的后側(cè)并分別插入主動滾輪和從動壓輪的環(huán)形凹槽中。蓋膜撕除裝置結(jié)構(gòu)簡單，改變插銷插入的插孔通過拉簧的作用，可以使主動滾輪和從動壓輪對蓋膜有合適的壓緊力，滿足帶動蓋膜向前運動的需要；插入主動滾輪和從動壓輪的環(huán)形凹槽中的防卷帶壓塊的插齒可以防止蓋膜卷繞在主動滾輪或從動壓輪上。

作為優(yōu)選，所述的斷帶檢測裝置包括與支腳固定連接的微動開關(guān)和安裝塊、位于微動開關(guān)上方并與安裝塊鉸接的轉(zhuǎn)臂、位于主動滾輪和從動壓輪的后側(cè)且一端與轉(zhuǎn)臂連接的斷帶測桿、兩側(cè)分別設(shè)有與固定座固定連接的連接耳的托板和位于斷帶測桿前側(cè)下方且兩端各與一個連接耳連接的轉(zhuǎn)向軸。當(dāng)蓋膜斷裂時，斷帶測桿會與微動開關(guān)的按鈕松開，微動開關(guān)斷開通過控制器控制實現(xiàn)集成電路蓋膜撕除機構(gòu)停止工作提高安全性。

作為優(yōu)選，所述的編帶驅(qū)動定位裝置包括與固定座固定連接的編帶驅(qū)動電機、上部伸入兩個載帶導(dǎo)軌之間并與編帶驅(qū)動電機的輸出軸固定連接的編帶驅(qū)動輪、集成電路入位檢測傳感器、原點傳感器和兩個傳感器支架；編帶驅(qū)動輪的側(cè)圍設(shè)有若干個沿圓周徑向均布的編帶驅(qū)動桿；集成電路入位檢測傳感器和原點傳感器各通過一個傳感器支架與固定座連接。編帶驅(qū)動定位裝置提高編帶運動精度；集成電路入位檢測傳感器可提前檢測集成電路的編帶有無集成電路，原點傳感器向控制器提供原點信號。

作為優(yōu)選，所述的集成電路蓋膜撕除機構(gòu)還包括兩個間距調(diào)節(jié)塊和若干個緊固螺釘；間距調(diào)節(jié)塊由若干個從上至下相對兩側(cè)邊距離依次加大的矩形塊構(gòu)成；兩個載帶導(dǎo)軌每一端的相對側(cè)邊的下部各與一個間距調(diào)節(jié)塊的一個矩形塊的相對兩側(cè)邊接觸，兩個載帶導(dǎo)軌的下端面分別壓住一個間距調(diào)節(jié)塊的下一個矩形塊的上端面；載帶導(dǎo)軌沿長度方向設(shè)有若干個橫向長孔；每個緊固螺釘?shù)男《舜┻^一個橫向長孔與固定座螺紋連接；兩個載帶導(dǎo)軌的相對側(cè)邊的上部各設(shè)有與上端面貫通的滑槽。通過調(diào)節(jié)兩個載帶導(dǎo)軌的間距可以滿足不同寬度集成電路的編帶的蓋膜撕除需要；兩個載帶導(dǎo)軌的相對側(cè)邊的上部各設(shè)有與上端面貫通的滑槽使編帶定位準確運動更平穩(wěn)。