[實用新型]集成電路蓋膜撕除機構有效
| 申請號: | 201320725346.9 | 申請日: | 2013-11-15 |
| 公開(公告)號: | CN203674190U | 公開(公告)日: | 2014-06-25 |
| 發明(設計)人: | 顏邦純;葉鍵波;陳啟其;韓笑 | 申請(專利權)人: | 杭州長川科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/70 | 分類號: | H01L21/70 |
| 代理公司: | 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109 | 代理人: | 尉偉敏 |
| 地址: | 310053 浙江省杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 集成電路 蓋膜撕 機構 | ||
1.一種集成電路蓋膜撕除機構,其特征是,包括設有長槽的固定座、兩個分別位于長槽兩側并與固定座的上端連接的載帶導軌、蓋膜收集盒、編帶驅動定位裝置、蓋膜撕除裝置和斷帶檢測裝置。
2.根據權利要求1所述的集成電路蓋膜撕除機構,其特征是:所述的蓋膜收集盒包括位于兩個載帶導軌上方且后端設有開口的盒體、與盒體后端固定連接的吹氣座和兩個位于盒體下端并與固定座固定連接的支腳。
3.根據權利要求2所述的集成電路蓋膜撕除機構,其特征是:所述的蓋膜撕除裝置包括位于蓋膜收集盒后側并與固定座上端固定連接的安裝座、與安裝座樞接的主動滾輪、與安裝座固定連接且輸出軸與主動滾輪傳動連接的撕帶電機、兩個中部各與安裝座的一側端鉸接的L形拉桿、位于主動滾輪上側且兩端分別與兩個L形拉桿的前端樞接的從動壓輪、兩個設有若干個插齒且分別與固定座固定連接的防卷帶壓塊、兩個各與一個L形拉桿的上端連接的調節桿、兩個后端各與一個調節桿連接的拉簧和兩個調節插銷;盒體的兩側端分別設有若干個沿前后排列的插孔,每個插銷穿過一個拉簧的前端插入一個插孔中;主動滾輪和從動壓輪的側圍沿軸向設有若干個環形凹槽;兩個防卷帶壓塊的插齒分別位于主動滾輪和從動壓輪的后側并分別插入主動滾輪和從動壓輪的環形凹槽中。
4.根據權利要求3所述的集成電路蓋膜撕除機構,其特征是:所述的斷帶檢測裝置包括與支腳固定連接的微動開關和安裝塊、位于微動開關上方并與安裝塊鉸接的轉臂、位于主動滾輪和從動壓輪的后側且一端與轉臂連接的斷帶測桿、兩側分別設有與固定座固定連接的連接耳的托板和位于斷帶測桿前側下方且兩端各與一個連接耳連接的轉向軸。
5.根據權利要求1或2或3或4所述的集成電路蓋膜撕除機構,其特征是:所述的編帶驅動定位裝置包括與固定座固定連接的編帶驅動電機、上部伸入兩個載帶導軌之間并與編帶驅動電機的輸出軸固定連接的編帶驅動輪、集成電路入位檢測傳感器、原點傳感器和兩個傳感器支架;編帶驅動輪的側圍設有若干個沿圓周徑向均布的編帶驅動桿;集成電路入位檢測傳感器和原點傳感器各通過一個傳感器支架與固定座連接。
6.根據權利要求1或2或3或4所述的集成電路蓋膜撕除機構,其特征是:所述的集成電路蓋膜撕除機構還包括兩個間距調節塊和若干個緊固螺釘;間距調節塊由若干個從上至下相對兩側邊距離依次加大的矩形塊構成;兩個載帶導軌每一端的相對側邊的下部各與一個間距調節塊的一個矩形塊的相對兩側邊接觸,兩個載帶導軌的下端面分別壓住一個間距調節塊的下一個矩形塊的上端面;載帶導軌沿長度方向設有若干個橫向長孔;每個緊固螺釘的小端穿過一個橫向長孔與固定座螺紋連接;兩個載帶導軌的相對側邊的上部各設有與上端面貫通的滑槽。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





