[實用新型]一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺有效
| 申請號： | 201320723157.8 | 申請日： | 2013-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN203648906U | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 陳吉祥;李競宇;張建國 | 申請（專利權）人： | 龍巖市華德光電有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/10 | 分類號： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 364101 福建省龍巖*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單晶硅 切割 恒溫 水洗 脫膠 | ||
【權利要求書】：
1.一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，其特征在于：包括箱體和支撐板，所述箱體底部設置有恒溫加熱棒，所述箱體中部每個側面上均設置有支撐片，所述支撐片用于在支撐板放入箱體內時，支撐所述支撐板，所述支撐板上具有多個通孔。
2.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，其特征在于：所述支撐片的個數為兩個。
3.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，其特征在于：所述的箱體橫截面為正方形。
4.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，其特征在于：所述支撐板中心具有一個直徑為3cm~6cm的圓孔。
5.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，其特征在于：所述通孔直徑為3mm~10mm。
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