[實用新型]一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺

有效

• 申請號: 201320723157.8
• 申請日: 2013-11-13
• 公開（公告）號: CN203648906U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 陳吉祥;李競宇;張建國
• 申請（專利權）人: 龍巖市華德光電有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及單晶硅棒加工領域，特別指一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺。

背景技術

現有的單晶硅棒恒溫脫膠臺脫膠時，膠水和碎屑在脫膠后會堆積在脫膠臺的底部，長時間會影響后續的脫膠。由于加熱棒是裸露的，單晶硅片在放置時有時會太靠近加熱棒使得脫膠溫度不均，影響脫膠效果。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題，在于提供一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，解決現有恒溫脫膠臺膠水和碎屑堆積以及脫膠溫度不均的問題。

本實用新型是這樣實現的：

一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，包括箱體和支撐板，所述箱體底部設置有恒溫加熱棒，所述箱體中部每個側面上均設置有支撐片，所述支撐片用于在支撐板放入箱體內時，支撐所述支撐板，所述支撐板上具有多個通孔。

進一步地，所述支撐片的個數為兩個。

進一步地，所述的箱體橫截面為正方形。

進一步地，所述支撐板中心具有一個直徑為3cm~6cm的圓孔。

進一步地，所述通孔直徑為3mm~10mm。

本實用新型的優點在于：膠水和碎屑會通過通孔掉落到脫膠臺內部，不會影響后續脫膠，由于支撐板支撐使得單晶硅片不會靠近加熱棒，從而使得脫膠溫度均勻。

附圖說明

下面參照附圖結合實施例對本實用新型作進一步的說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，一種單晶硅棒切割后的恒溫水洗脫膠臺，包括箱體1和支撐板2，箱體1底部設置有恒溫加熱棒3，箱體1中部每個側面上均設置有支撐片4，支撐片4用于在支撐板2放入箱體1內時，支撐著支撐板2，支撐板2上具有多個通孔20。由于具有多個通孔20，本實用新型在脫膠時，膠水和碎屑等殘渣會掉落到箱體1的底部，而不會在支撐板2上堆積，則不會影響下一次的脫膠。當膠水和碎屑堆積到一定量時，可以集中清理。也可以在箱體1的底部設置一個排渣孔，在清理時排出殘渣。同時由于恒溫加熱棒3在箱體1底部而支撐板2在箱體1中部，兩者會間隔一定距離，支撐板2上的切割后的單晶硅棒（即單晶硅片）不會直接接觸到恒溫加熱棒3，而是通過水進行熱傳遞，使得單晶硅棒受熱均勻。

過多的支撐片4使得制作相對麻煩，但是每個側面只設置一個支撐片4又會造成支撐板容易傾斜，則支撐片的個數為兩個最為適當。

優選的箱體1橫截面為正方形，則支撐板2在放入時不用考慮方向。支撐板2橫截面形狀應和箱體1的橫截面形狀相同，但是支撐板2的各邊應略小于箱體1的相應的內邊長，以便于支撐板2的放入。

為了方便支撐板2的取出，在支撐板2的中心設有一個直徑為3cm~6cm的圓孔21。這樣的圓孔21直接用手指即可將支撐板2從中間拿起，快速方便。

優選的通孔20直徑為3mm~10mm。太小的通孔不利于殘渣的掉落，太大的通孔又會對支撐板2的強度造成影響。?

以上所述實施方式，只是本實用新型的較佳實施方式，并非來限制本實用新型實施范圍，故凡依本實用新型申請專利范圍所述的構造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均應包括本實用新型專利申請范圍內。