[實用新型]液體吸回系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320719135.4
• 申請日: 2013-11-14
• 公開（公告）號: CN203607371U
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 喻暢;錢文明;周鴻飛;張杰;董明
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;F15B21/00;B08B13/00;B08B3/02
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，包括：一儲液罐、一緩沖裝置及一驅(qū)動裝置；?

所述儲液罐頂面通過細管與所述緩沖裝置的側(cè)面相通；?

所述緩沖裝置設(shè)置于所述驅(qū)動裝置的下方，且通過細管所述緩沖裝置與所述驅(qū)動裝置的底面相通；?

所述驅(qū)動裝置呈針管狀，所述驅(qū)動裝置包括：驅(qū)動腔及設(shè)置于所述驅(qū)動腔內(nèi)部的活塞、與所述活塞相連的傳動裝置、與所述傳動裝置相連的馬達。?

2.如權(quán)利要求1所述的液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，所述儲液罐包括：設(shè)置于所述儲液罐的底面及側(cè)面之間的斜面、設(shè)置于斜面上側(cè)的浮球。?

3.如權(quán)利要求2所述的液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，所述儲液罐的側(cè)面設(shè)置有位移傳感器，并且所述位移傳感器靠近所述斜面。?

4.如權(quán)利要求2所述的液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，所述儲液罐的側(cè)面設(shè)置有光纖傳感器，并且所述光纖傳感器靠近所述斜面。?

5.如權(quán)利要求1所述的液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，所述儲液罐的側(cè)面設(shè)置有壓力傳感器，并且所述壓力傳感器靠近所述儲液罐的頂面。?

6.如權(quán)利要求1所述的液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，所述緩沖裝置呈圓柱體型。?

7.如權(quán)利要求1所述的液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，所述活塞周圍設(shè)置有密封圈。?

8.如權(quán)利要求1所述的液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，所述活塞的材質(zhì)具有耐腐蝕性。?

9.如權(quán)利要求1所述的液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動裝置為滾子體-螺紋傳動裝置。?

10.如權(quán)利要求1到9中任意一項所述的液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，所述儲液罐的底面外側(cè)設(shè)置有第一閥及與所述第一閥平行設(shè)置的第三閥；其中，所述第一閥與第二閥串聯(lián)，并且所述第一閥與所述第二閥連接處設(shè)置有一三向閥。?

11.如權(quán)利要求1到9中任意一項所述的液體吸回系統(tǒng)，其特征在于，所述緩沖裝置的底面外側(cè)設(shè)置有第四閥。?