[實用新型]一種板式PECVD裝置用掛鉤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320718989.0
• 申請日: 2013-11-13
• 公開（公告）號: CN203768456U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 符昌京;王慶森;許明金;蔡少坤;朱志文;王家道;盛峰;陳國文;王川
• 申請（專利權(quán)）人: 海南英利新能源有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及太陽能電池制作技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種板式PECVD裝置用掛鉤。

背景技術(shù)

PECVD(Plasma?Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition，等離子體增強化學(xué)氣相沉積法)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD加工工藝分為管式PECVD工藝和板式PECVD工藝，板式PECVD工藝分為上鍍膜工藝和下鍍膜工藝。傳統(tǒng)的板式PECVD裝置的下鍍膜工藝中，板式PECVD搭載硅片鍍膜時需要使用石墨舟，石墨舟在運行工藝時需要使用掛鉤才能形成完整的硅片承載體—石墨載板。

如圖1至圖3所示，傳統(tǒng)的掛鉤主要包括掛鉤本體和墊片02，其中掛鉤本體包括連接件03和兩個鉤體01，其中連接件03的兩端分別與兩個鉤體01固定連接，連接件03上表面的寬度與鉤體01上與連接件03連接處寬度相等，墊片02上表面的寬度大于連接件03上表面的寬度。在石墨舟上安裝掛鉤時，首先工作人員一只手拿著墊片02，另一只手拿著掛鉤本體，然后將墊片02嵌在兩個鉤體01之間，連接件03用于支撐墊片02，完成掛鉤安裝之后再將掛鉤安裝在石墨舟上。

由于，需要使用掛鉤時需要工作人員先將墊片02嵌在鉤體01上，為了確保墊片02準確地嵌在鉤體01上需要先將墊片02的兩個側(cè)邊先與兩個鉤體01的內(nèi)側(cè)面對齊，然后將墊片02沿鉤體01的長度方向由上至下運動，最后嵌在掛鉤本體上，工作人員的勞動強度大；另一方面，每次使用掛鉤都需要先進行掛鉤的安裝工作，板式PECVD的工作效率較低。

因此，如何在降低工作人員勞動強度的同時提高板式PECVD的工作效率，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種板式PECVD裝置用掛鉤，該板式PECVD裝置用掛鉤能夠在降低工作人員勞動強度的同時提高板式PECVD的工作效率。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種板式PECVD裝置用掛鉤，包括掛鉤本體和墊片，所述掛鉤本體包括兩個鉤體，所述墊片的兩端分別與兩個所述鉤體固定連接。

優(yōu)選地，所述掛鉤本體和所述墊片為一體式結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，還包括兩端分別與所述鉤體和所述墊片固定連接的加強筋。

優(yōu)選地，所述加強筋和所述掛鉤本體為一體式結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述墊片的兩端通過焊接與兩個所述鉤體固定連接。

優(yōu)選地，所述掛鉤為鐵質(zhì)掛鉤。

在上述技術(shù)方案中，本實用新型提供的板式PECVD裝置用掛鉤包括掛鉤本體和墊片，其中掛鉤本體包括兩個鉤體，墊片的兩端分別與兩個鉤體固定連接。當(dāng)工作人員需要使用掛鉤時，由于墊片的兩端分別與兩個鉤體固定連接，直接將掛鉤安裝在石墨舟上使用即可。

通過上述描述可知，在本實用新型提供的掛鉤中，由于墊片的兩端分別與兩個鉤體固定連接，直接將掛鉤安裝在石墨舟上使用即可，有效地避免了在使用掛鉤時，需要工作人員先將墊片安裝在掛鉤本體上才能使用的情況，降低了工作人員的勞動強度，省去了組合掛鉤需要的時間，提高了板式PECVD的工作效率。

附圖說明

圖1為傳統(tǒng)的掛鉤本體的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1所示掛鉤本體的俯視圖；

圖3為傳統(tǒng)的墊片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型實施例所提供的掛鉤的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為圖4所示掛鉤的俯視圖；

圖6為本實用新型實施例所提供的墊片的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中圖1-6中：01-鉤體、02-墊片、03-連接件；

1-鉤體、2-墊片。

具體實施方式

本實用新型的核心是提供一種板式PECVD裝置用掛鉤，該板式PECVD裝置用掛鉤能夠在降低工作人員勞動強度的同時提高板式PECVD的工作效率。

為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明。