[實用新型]一種板式PECVD裝置用掛鉤有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320718989.0 | 申請日: | 2013-11-13 |
| 公開(公告)號: | CN203768456U | 公開(公告)日: | 2014-08-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 符昌京;王慶森;許明金;蔡少坤;朱志文;王家道;盛峰;陳國文;王川 | 申請(專利權(quán))人: | 海南英利新能源有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏曉波 |
| 地址: | 570000 海南省海口市國*** | 國省代碼: | 海南;66 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 板式 pecvd 裝置 掛鉤 | ||
1.一種板式PECVD裝置用掛鉤,包括掛鉤本體和墊片(2),所述掛鉤本體包括連接件和兩個鉤體(1),所述連接件的兩端分別與兩個所述鉤體(1)固定連接,所述連接件上表面的寬度與所述鉤體(1)上與所述連接件連接處寬度相等,所述墊片(2)上表面的寬度大于所述連接件上表面的寬度,其特征在于,所述墊片(2)的兩端分別與兩個所述鉤體(1)固定連接。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掛鉤,其特征在于,所述掛鉤本體和所述墊片(2)為一體式結(jié)構(gòu)。?
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掛鉤,其特征在于,還包括兩端分別與所述鉤體(1)和所述墊片(2)固定連接的加強筋。?
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掛鉤,其特征在于,所述加強筋與所述掛鉤本體為一體式結(jié)構(gòu)。?
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掛鉤,其特征在于,所述墊片(2)的兩端通過焊接與兩個所述鉤體(1)固定連接。?
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項所述的掛鉤,其特征在于,所述掛鉤為鐵質(zhì)掛鉤。?
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





