[實(shí)用新型]基板顯影處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320713736.4
• 申請(qǐng)日: 2013-11-13
• 公開（公告）號(hào): CN203595896U
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龔金金;朱棋鋒;張為騰;吳康成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/30
• 分類號(hào): G03F7/30
• 代理公司: 上海唯源專利代理有限公司 31229
• 代理人: 曾耀先

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，尤指一種基板顯影處理裝置。

背景技術(shù)

在用作OLED的玻璃基板上形成預(yù)定圖形的抗腐蝕膜時(shí)，需要對(duì)在玻璃基板表面上形成的抗腐蝕膜進(jìn)行預(yù)定圖形的曝光顯影，通過(guò)顯影只留下預(yù)定圖形的抗腐蝕膜。

在進(jìn)行上述顯影處理時(shí)，首先在曝光后的抗腐蝕膜表面上噴淋顯影液，在基板上形成顯影液層，在預(yù)定時(shí)間內(nèi)進(jìn)行顯影反應(yīng)，反應(yīng)結(jié)束之后回收顯影液，漂洗并干燥基板。但是在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中經(jīng)常會(huì)碰到由于顯影液回流或沒(méi)有完全覆蓋，導(dǎo)致玻璃基板表面顯影液液盛不良，往往只能通過(guò)人工加檢才能發(fā)現(xiàn)，如未及時(shí)發(fā)現(xiàn)最終導(dǎo)致產(chǎn)品異常（金屬殘留），導(dǎo)致返工甚至報(bào)廢，并且現(xiàn)在沒(méi)有成熟的技術(shù)可以在顯影過(guò)程中實(shí)時(shí)檢測(cè)顯影液在基板表面的分布情況。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的局限，而提供一種基板顯影處理裝置，其能夠解決基顯影過(guò)程中基板上顯影液分布不均的問(wèn)題。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的主要技術(shù)手段在于：提供一種基板顯影處理裝置，其包括：基座；滾輪組，安裝于所述基座上，所述滾輪組包括互相平行并且沿水平方向一字排列的復(fù)數(shù)個(gè)滾輪；與所述滾輪組連接、用于驅(qū)動(dòng)所述滾輪組中的滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)的滾輪組驅(qū)動(dòng)裝置；擋塊，位于滾輪組兩端；設(shè)置于基座上、用于感應(yīng)基板位置以供所述滾輪組驅(qū)動(dòng)裝置據(jù)此控制所述滾輪組轉(zhuǎn)動(dòng)方式的基板位置傳感器?；逶陲@影過(guò)程中被放置于滾輪組上，通過(guò)滾輪驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)滾輪不停正轉(zhuǎn)反轉(zhuǎn)使位于滾輪組上的基板沿水平方向晃動(dòng)，通過(guò)晃動(dòng)可以使基板表面的顯影液的分布更加均勻。

本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述擋塊下方設(shè)置有擋塊升降機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述滾輪組中的滾輪包括復(fù)數(shù)個(gè)傳動(dòng)滾輪，所述傳動(dòng)滾輪的一側(cè)設(shè)置有端部齒輪，所述傳動(dòng)滾輪和所述滾輪組驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)齒輪傳動(dòng)連接，所述滾輪組中的傳動(dòng)滾輪的滾輪直徑相同，在運(yùn)動(dòng)時(shí)所述滾輪組中的傳動(dòng)滾輪沿相同方向、相同轉(zhuǎn)速繞其軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。

本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述滾輪組中的滾輪還包括復(fù)數(shù)個(gè)自由滾輪，所述自由滾輪間隔地排列在滾輪之間。這樣改進(jìn)的有益效果在于：自由滾輪的設(shè)置可以減少滾輪組驅(qū)動(dòng)裝置需要驅(qū)動(dòng)的滾輪豎梁，并且自由滾輪可以為基板提供有效的支撐。

本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述滾輪組中的滾輪的直徑與自由滾輪的直徑相同。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型基板顯影處理裝置的俯視圖；

圖2為本實(shí)用新型基板顯影處理裝置的一側(cè)的視圖

圖3為基板上顯影液分布不均時(shí)的示意圖。

圖4為本實(shí)用新型基板顯影處理裝置搭載基板的過(guò)程的示意圖；

圖5為本實(shí)用新型基板顯影處理裝置對(duì)其搭載的基板進(jìn)行處理時(shí)的示意圖；

圖6為本實(shí)用新型基板顯影處理裝置對(duì)其搭載的基板處理完成的基板運(yùn)至下一工序的示意圖；

圖7為理想狀況下本實(shí)用新型基板顯影處理裝置處理之后基板表面顯影液分布的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例做詳細(xì)介紹。

參考圖1，本實(shí)用新型的基板顯影處理裝置主要包括一基座10，在基座10上安裝有滾輪組20，安裝于滾輪組20兩端的可升降的擋塊40以及擋塊40下方的擋塊升降機(jī)構(gòu)41，在滾輪組20兩端還設(shè)置有基板位置傳感器24。

如圖2所示，滾輪組20由復(fù)數(shù)個(gè)互相平行并且沿水平方向一字排列的傳動(dòng)滾輪21組成，所有傳動(dòng)滾輪21的半徑相同且軸線共面。在基座10上還安裝有滾輪組驅(qū)動(dòng)裝置30，在本實(shí)施例中滾輪組驅(qū)動(dòng)裝置30通過(guò)復(fù)數(shù)個(gè)同軸的錐形齒輪31與端部齒輪22嚙合，當(dāng)滾輪組驅(qū)動(dòng)裝置30的電機(jī)32驅(qū)動(dòng)錐形齒輪31轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，滾輪組20的端部齒輪22隨之轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而帶動(dòng)傳動(dòng)滾輪21轉(zhuǎn)動(dòng)。特別的，當(dāng)控制電機(jī)32以不同的轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，滾輪組20的傳動(dòng)滾輪21也會(huì)以相應(yīng)的轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng)。在本實(shí)施例中所有的端部齒輪22和與其對(duì)應(yīng)的錐形齒輪31的變比相同，這樣可以保證所有的傳動(dòng)滾輪21的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)相同。滾輪組20還包含復(fù)數(shù)個(gè)自由滾輪23，自由滾輪23的軸線和傳動(dòng)滾輪21的軸線平行，并且自由滾輪23和傳動(dòng)滾輪21的直徑相同。自由滾輪23間隔的布設(shè)在傳動(dòng)滾輪21之間，其與傳動(dòng)滾輪21的主要區(qū)別在于自由滾輪23不與滾輪組驅(qū)動(dòng)裝置30相連接。自由滾輪23可以在基座10上沿其軸線自由轉(zhuǎn)動(dòng)。