[實用新型]硅料旋轉裝置、硅料進給裝置和硅片切割設備有效
| 申請號： | 201320711254.5 | 申請日： | 2013-11-11 |
| 公開（公告）號： | CN203527678U | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發明（設計）人： | 李旭;汪飛;黃杰;徐召 | 申請（專利權）人： | 英利能源（中國）有限公司 |
| 主分類號： | B28D7/04 | 分類號： | B28D7/04;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 吳貴明;張永明 |
| 地址： | 071051 河*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 旋轉 裝置 進給 硅片 切割 設備 | ||
1.一種硅料旋轉裝置，其特征在于，包括：?
支撐部（20）；?
用于夾持硅料的夾持部（10），通過樞軸（11）與所述支撐部（20）可樞轉地連接；以及?
用于驅動所述夾持部（10）繞所述樞軸（11）轉動的驅動部（40），所述驅動部（40）的一端固定在所述支撐部（20）上，所述驅動部（40）的另一端與所述夾持部（10）連接。?
2.根據權利要求1所述的硅料旋轉裝置，其特征在于，所述驅動部（40）包括：?
旋轉電機（41），包括第一本體（411）和第一輸出軸，所述第一本體（411）固定地設置在所述支撐部（20）上，所述第一輸出軸與所述樞軸（11）平行；?
齒輪（42），設置在所述第一輸出軸上；?
弧形齒條（43），以所述樞軸（11）為圓心設置在所述夾持部（10）上，并與所述齒輪（42）嚙合。?
3.根據權利要求1所述的硅料旋轉裝置，其特征在于，所述驅動部（40）是活塞缸，所述活塞缸包括：?
第二缸體（44），固定地設置在所述支撐部（20）上；?
第二活塞桿（45），沿所述樞軸（11）的徑向伸出，并與所述夾持部（10）滑動抵接。?
4.一種硅料進給裝置，其特征在于，包括：?
權利要求1至3中任一項所述的硅料旋轉裝置；?
升降部（30），與所述硅料旋轉裝置的支撐部（20）連接，所述升降部（30）驅動所述硅料旋轉裝置上下運動。?
5.根據權利要求4所述的硅料進給裝置，其特征在于，所述升降部（30）包括：?
升降電機（31）；?
絲杠螺桿（32），與所述升降電機（31）的輸出端連接，所述絲杠螺桿（32）的另一端設置在所述支撐部（20）的螺紋孔內。?
6.根據權利要求5所述的硅料進給裝置，其特征在于，所述升降部（30）還包括多個承重活塞缸（33），所述承重活塞缸（33）的一端與所述支撐部（20）連接。?
7.根據權利要求6所述的硅料進給裝置，其特征在于，所述升降部（30）還包括安裝平臺（34），所述升降電機（31）和所述多個承重活塞缸（33）均設置在所述安裝平臺（34）上。?
8.一種硅片切割設備，包括殼體，其特征在于，所述硅片切割設備還包括權利要求4至7中任一項所述的硅料進給裝置，所述硅料進給裝置的升降部（30）設置在所述殼體上。?
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