[實用新型]硅料旋轉(zhuǎn)裝置、硅料進給裝置和硅片切割設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320711254.5 | 申請日: | 2013-11-11 |
| 公開(公告)號: | CN203527678U | 公開(公告)日: | 2014-04-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李旭;汪飛;黃杰;徐召 | 申請(專利權(quán))人: | 英利能源(中國)有限公司 |
| 主分類號: | B28D7/04 | 分類號: | B28D7/04;B28D5/04 |
| 代理公司: | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人: | 吳貴明;張永明 |
| 地址: | 071051 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 旋轉(zhuǎn) 裝置 進給 硅片 切割 設(shè)備 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及光伏組件生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域,更具體地,涉及一種硅料旋轉(zhuǎn)裝置、硅料進給裝置和硅片切割設(shè)備。
背景技術(shù)
硅片切割是太陽能光伏電池制造工藝中的關(guān)鍵部分,該工藝用于處理單晶硅或者多晶硅的固體硅錠。首先利用線鋸把硅錠切成方塊硅料,然后再將硅料切成很薄的硅片。這些硅片就是制造光伏電池的基板。
線鋸的核心是超細的高強度的切割線,切割線在研磨漿的配合下完成切割動作。多達1000條切割線相互平行的纏繞在導(dǎo)線輪上形成一個水平的切割線網(wǎng)。馬達驅(qū)動導(dǎo)線輪使整個切割線網(wǎng)以每秒5到25米的速度圍繞導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動。在切割線運動過程中,噴嘴會持續(xù)向切割線噴射含有懸浮碳化硅顆粒的研磨漿。通過切割線帶動研磨料對方塊硅料進行切割。
現(xiàn)有技術(shù)中的硅片切割包括平面入刀和傾斜入刀兩種入刀方法。其中平面入刀又分為帶導(dǎo)向條和不帶導(dǎo)向條兩種,導(dǎo)向條用于在入刀時穩(wěn)定切割線,采用平面入刀法時切割線與硅料的表面平行,切割線從硅料的一面開始切割;傾斜入刀法即將硅料傾斜一角度,使得切割線與硅料的表面形成入刀角,這樣使得切割線從硅料的一邊開始切割。
采用平面入刀法時,切割線接觸硅料表面時容易發(fā)生抖動,降低切割質(zhì)量;而采用傾斜入刀法時,由于切割線也是以一個角度退出硅料,所以會使硅片在出刀邊緣產(chǎn)生鋸痕,同樣會降低切割質(zhì)量。
實用新型內(nèi)容
本實用新型旨在提供一種硅料旋轉(zhuǎn)裝置、硅料進給裝置和硅片切割設(shè)備,以解決現(xiàn)有技術(shù)的硅片切割的入刀或出刀過程會降低硅片切割的質(zhì)量的問題。
為解決上述技術(shù)問題,根據(jù)本實用新型的一個方面,提供了一種硅料旋轉(zhuǎn)裝置,包括:支撐部;用于夾持硅料的夾持部,通過樞軸與支撐部可樞轉(zhuǎn)地連接;以及用于驅(qū)動夾持部繞樞軸轉(zhuǎn)動的驅(qū)動部,驅(qū)動部的一端固定在支撐部上,驅(qū)動部的另一端與夾持部連接。
進一步地,驅(qū)動部包括:旋轉(zhuǎn)電機,包括第一本體和第一輸出軸,第一本體固定地設(shè)置在支撐部上,第一輸出軸與樞軸平行;齒輪,設(shè)置在第一輸出軸上;弧形齒條,以樞軸為圓心設(shè)置在夾持部上,并與齒輪嚙合。
可替換地,驅(qū)動部是活塞缸,活塞缸包括:第二缸體,固定地設(shè)置在支撐部上;第二活塞桿,沿樞軸的徑向伸出,并與夾持部滑動抵接。
根據(jù)本實用新型的另一個方面,還提供了一種硅料進給裝置,包括:上述的硅料旋轉(zhuǎn)裝置;升降部,與硅料旋轉(zhuǎn)裝置的支撐部連接,升降部驅(qū)動硅料旋轉(zhuǎn)裝置上下運動。
進一步地,升降部包括:升降電機;絲杠螺桿,與升降電機的輸出端連接,絲杠螺桿的另一端設(shè)置在支撐部的螺紋孔內(nèi)。
進一步地,升降部還包括多個承重活塞缸,承重活塞缸的一端與支撐部連接。
進一步地,升降部還包括安裝平臺,升降電機和多個承重活塞缸的均設(shè)置在安裝平臺上。
根據(jù)本實用新型的另一個方面,還提供了一種硅片切割設(shè)備,包括殼體,硅片切割設(shè)備還包括上述的硅料進給裝置,硅料進給裝置的升降部設(shè)置在殼體上。
夾持部在驅(qū)動部的驅(qū)動下繞支撐部旋轉(zhuǎn),硅料與夾持部連接,這樣硅料也就可以旋轉(zhuǎn),在使用本實用新型的硅料旋轉(zhuǎn)裝置進行硅片切割時,首先將夾持部旋轉(zhuǎn)一定角度,使硅料傾斜入刀,在切割過程中慢慢將夾持部旋轉(zhuǎn)至水平,又能實現(xiàn)硅料的水平出刀,同時實現(xiàn)了傾斜入刀的優(yōu)點和水平出刀的優(yōu)點,并且夾持部的角度緩慢改變,不會對切割質(zhì)量造成影響,從而整體提高了硅片切割的質(zhì)量。
附圖說明
構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解,本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型,并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
圖1示意性示出了本實用新型中的硅料進給裝置的剖視示意圖;
圖2示意性示出了本實用新型中的硅料進給裝置的第一種驅(qū)動部的示意圖;以及
圖3示意性示出了本實用新型中的硅料進給裝置的第二種驅(qū)動部的示意圖。
圖中附圖標記:10、夾持部;11、樞軸;20、支撐部;30、升降部;31、升降電機;311、第二本體;32、絲杠螺桿;33、承重活塞缸;331、第一缸體;332、第一活塞桿;34、安裝平臺;40、驅(qū)動部;41、旋轉(zhuǎn)電機;411、第一本體;42、齒輪;43、弧形齒條;44、第二缸體;45、第二活塞桿。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的實施例進行詳細說明,但是本實用新型可以由權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實施。
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