[實用新型]蝕刻機噴液系統有效

申請號：	201320708384.3	申請日：	2013-11-11
公開（公告）號：	CN203513798U	公開（公告）日：	2014-04-02
發明（設計）人：	邵永明;童德明	申請（專利權）人：	臨安升達電子廠
主分類號：	C23F1/08	分類號：	C23F1/08
代理公司：	杭州九洲專利事務所有限公司 33101	代理人：	王洪新
地址：	311324 浙江***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	蝕刻機噴液系統
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【權利要求書】：

1.蝕刻機噴液系統，包括安裝于機體（1）內腔且懸垂在傳送帶上邊的若干個相互平行的噴液管（5）以及為前述噴液管提供酸性蝕刻液的供液組件，所述噴液管均水平布置且橫向伸展在傳送帶（2）的寬度方向，每個噴液管上均安裝著若干個豎直朝下的噴嘴；其特征在于所述每個噴液管上的噴嘴排列成兩端高中間低的形狀，并且分別通過各自的過渡管（3）連通所述的噴液管。

2.根據權利要求1所述的蝕刻機噴液系統，其特征在于：所述形狀為圓弧形。

3.根據權利要求1所述的蝕刻機噴液系統，其特征在于：所述形狀為三角形。

4.根據權利要求2或3所述的蝕刻機噴液系統，其特征在于：所述供液組件為通過管道將酸性蝕刻液輸往噴液管的耐腐蝕液泵。

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