[實用新型]脫膠工裝有效
| 申請號: | 201320704110.7 | 申請日: | 2013-11-07 |
| 公開(公告)號: | CN203521383U | 公開(公告)日: | 2014-04-02 |
| 發明(設計)人: | 石志學 | 申請(專利權)人: | 英利能源(中國)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 吳貴明;張永明 |
| 地址: | 071051 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 脫膠 工裝 | ||
1.一種脫膠工裝,包括:
脫膠容器(10),具有第一敞開端,其特征在于,所述脫膠工裝還包括:
主架(20);
平移件,沿水平方向可移動地設置在所述主架(20)上,所述平移件位于所述脫膠容器(10)的上方;
升降件(30),沿豎直方向可移動地設置在所述平移件上;
工件提取部,設置在所述升降件(30)上;
第一驅動裝置,驅動所述平移件沿水平方向移動;
第二驅動裝置,驅動所述升降件(30)沿豎直方向移動。
2.根據權利要求1所述的脫膠工裝,其特征在于,所述平移件通過第一導向機構沿水平方向可移動地設置在所述主架(20)上。
3.根據權利要求2所述的脫膠工裝,其特征在于,所述第一導向機構包括:
第一導軌,沿第一方向延伸并且設置在所述主架(20)上;
第一滑塊,設置在所述平移件上并與所述第一導軌配合。
4.根據權利要求1所述的脫膠工裝,其特征在于,所述第一驅動裝置包括:
電機,設置在所述平移件上;
齒輪,與所述電機驅動連接;
齒條,設置在所述主架(20)上,所述齒條與所述齒輪相配合。
5.根據權利要求1所述的脫膠工裝,其特征在于,所述工件提取部包括:
承載桶(31),具有第二敞開端和通液孔,所述承載桶(31)的第二敞開端處設置有掛接部;
掛鉤(33),設置在所述升降件(30)上,所述掛鉤(33)與所述掛接部相配合。
6.根據權利要求5所述的脫膠工裝,其特征在于,
所述掛鉤(33)包括:
第一掛鉤和第二掛鉤,均沿水平方向可移動地設置在所述升降件(30)上;
所述脫膠工裝還包括:
第三驅動裝置,驅動所述第一掛鉤沿水平方向移動;
第四驅動裝置,驅動所述第二掛鉤沿水平方向移動,
其中,所述掛接部包括兩個橫梁(32),所述兩個橫梁(32)彼此平行間隔設置,所述第一掛鉤和所述第二掛鉤與所述兩個橫梁(32)一一對應配合。
7.根據權利要求6所述的脫膠工裝,其特征在于,還包括:
控制裝置(21),具有觸摸屏,所述控制裝置(21)與所述第一驅動裝置、所述第二驅動裝置、所述第三驅動裝置和所述第四驅動裝置均電連接。
8.根據權利要求1所述的脫膠工裝,其特征在于,所述脫膠容器(10)的內部設置有加熱管(11),所述加熱管(11)水平設置,所述脫膠容器(10)的內部還設置有過濾網,所述過濾網位于所述加熱管(11)的上方。
9.根據權利要求1所述的脫膠工裝,其特征在于,還包括:
儲液罐(12),與所述脫膠容器(10)相連通;
液體泵,設置在所述儲液罐(12)與所述脫膠容器(10)之間。
10.根據權利要求9所述的脫膠工裝,其特征在于,所述脫膠容器(10)為多個,所述多個脫膠容器(10)在第一方向上間隔設置,各所述脫膠容器(10)與所述儲液罐(12)之間均設置有閥門(14),各所述閥門(14)彼此并聯設置,所述液體泵位于所述儲液罐(12)與各所述閥門(14)之間。
11.根據權利要求1所述的脫膠工裝,其特征在于,還包括:
蓋板,具有敞開所述第一敞開端的敞開位置以及封堵所述第一敞開端的封堵位置;
第五驅動裝置,驅動所述蓋板在所述敞開位置與所述封堵位置之間轉換。
12.根據權利要求1所述的脫膠工裝,其特征在于,還包括:
液位感應器(13),設置在所述脫膠容器(10)的內部。
13.根據權利要求1所述的脫膠工裝,其特征在于,所述脫膠容器(10)的底部逐漸收縮地向下延伸。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





