[實用新型]一種內層蝕刻板有效
| 申請號： | 201320700963.3 | 申請日： | 2013-11-07 |
| 公開（公告）號： | CN203632969U | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發明（設計）人： | 李春迎;賴明亮 | 申請（專利權）人： | 競華電子（深圳）有限公司 |
| 主分類號： | H05K3/00 | 分類號： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知識產權事務所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 陳健 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 內層 蝕刻 | ||
【權利要求書】：
1.一種內層蝕刻板，其上設有用于定位的工具孔，其特征在于，所述內層蝕刻板的邊緣附近設置有可被X射線打靶機抓取的靶標，所述靶標的圖案與所述X射線打靶機的抓取框選圖的圖案相匹配，所述工具孔開設于所述靶標的中心區域。
2.如權利要求1所述的內層蝕刻板，其特征在于，所述靶標的圖案具有兩同心圓。
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