[實用新型]一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器

有效

• 申請號: 201320700067.7
• 申請日: 2013-11-06
• 公開（公告）號: CN203598610U
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 蔣國慶
• 申請（專利權）人: 江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司
• 主分類號: B01D45/14
• 分類號: B01D45/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及晶體生長爐，尤其是一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器。

背景技術

在傳統的晶體生長爐中，利用過濾器對氧化物粉塵進行過濾，目前使用的過濾器采用過濾網，由于過濾網容易堵，而且過濾不干凈，氧化物容易進入真空泵造成真空泵潤滑油污染，從而造成真空泵易磨損抽真空效率下降。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是：為了克服上述中存在的問題，提供了一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，其設計結構合理并且能夠避免過濾不干凈而導致真空泵潤滑油污染的現象。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，包括用于盛裝氧化物粉塵的罐體和過濾裝置，所述的罐體側壁上橫向開設有第一穿孔和與第一穿孔相對的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐體內側壁上設有錐形結構的分離腔室，分離腔室的上環形開設有至少一個與罐體內腔相連通的進氣孔，靠近第二穿孔的罐體外側壁上延伸連接有L型結構的廢氣出口管，第一穿孔上穿置有用于連通真空泵的清潔氣體管，清潔氣體管的另一端與分離腔室的前端部相連通，廢氣出口管通過第二穿孔與分離腔室相連通，所述的過濾裝置包括設在廢氣出口管外部的電動機和連接在電動機輸出軸上的分離葉輪，分離葉輪設在分離腔室內。

為了能夠實現快速進氣，所述的分離腔室的上環形開設有兩個進氣孔。

本實用新型的有益效果是：所述的一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，采用此種設計的過濾器，解決了多年來困擾行業的難題，采用離心葉輪將帶有氧化物的廢氣進行高速旋轉分離，分離后干凈氣體通過真空泵抽入，過濾效果好。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型所述的一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器的整體結構示意圖。

附圖中標記分述如下：1、罐體，2、分離腔室，3、進氣孔，4、廢氣出口管，5、清潔氣體管，6、電動機，7、分離葉輪。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示的一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，包括用于盛裝氧化物粉塵的罐體1和過濾裝置，罐體1側壁上橫向開設有第一穿孔和與第一穿孔相對的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐體1內側壁上設有錐形結構的分離腔室2，分離腔室2的上環形開設有兩個與罐體1內腔相連通的進氣孔3，靠近第二穿孔的罐體1外側壁上延伸連接有L型結構的廢氣出口管4，第一穿孔上穿置有用于連通真空泵的清潔氣體管5，清潔氣體管5的另一端與分離腔室2的前端部相連通，廢氣出口管4通過第二穿孔與分離腔室2相連通，所述的過濾裝置包括設在廢氣出口管4外部的電動機6和連接在電動機6輸出軸上的分離葉輪7，分離葉輪7設在分離腔室2內，在分離腔室2的前端面設有定位卡塊，清潔氣體管5的側壁上設有與定位凸塊相對應的定位卡扣，清潔氣體管5和分離腔室2通過定位卡扣卡嵌在定位卡塊上。

本實用新型的一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，在進行使用此離心式過濾器時，對氧化物粉塵進行分離，通過電動機6帶動分離葉輪7轉動，由于分離葉輪7的高速旋轉，利用離心的原理，使氧化物粉塵形成分離狀態，分離后的清潔的空氣通過真空泵的作用從清潔氣體管5吸出，分離出來的具有氧化物的廢氣從廢氣出口管4排出。

以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。