[實用新型]一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320700067.7 | 申請日： | 2013-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN203598610U | 公開（公告）日： | 2014-05-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蔣國慶 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D45/14 | 分類號： | B01D45/14 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213200 江蘇省常州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 晶體生長 氧化物 粉塵 離心 過濾器 | ||
1.一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，其特征是：包括用于盛裝氧化物粉塵的罐體（1）和過濾裝置，所述的罐體（1）側(cè)壁上橫向開設(shè)有第一穿孔和與第一穿孔相對的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐體（1）內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)的分離腔室（2），分離腔室（2）的上環(huán)形開設(shè)有至少一個與罐體（1）內(nèi)腔相連通的進(jìn)氣孔（3），靠近第二穿孔的罐體（1）外側(cè)壁上延伸連接有L型結(jié)構(gòu)的廢氣出口管（4），第一穿孔上穿置有用于連通真空泵的清潔氣體管（5），清潔氣體管（5）的另一端與分離腔室（2）的前端部相連通，廢氣出口管（4）通過第二穿孔與分離腔室（2）相連通，所述的過濾裝置包括設(shè)在廢氣出口管（4）外部的電動機(jī)（6）和連接在電動機(jī)（6）輸出軸上的分離葉輪（7），分離葉輪（7）設(shè)在分離腔室（2）內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，其特征是:所述的分離腔室（2）的上環(huán)形開設(shè)有兩個進(jìn)氣孔（3）。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，其特征是:所述的分離腔室（2）的前端面設(shè)有定位卡塊，清潔氣體管（5）的側(cè)壁上設(shè)有與定位凸塊相對應(yīng)的定位卡扣，清潔氣體管（5）和分離腔室（2）通過定位卡扣卡嵌在定位卡塊上。
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