[實用新型]一種擋板及磁控濺射鍍膜設備有效
| 申請號: | 201320693931.5 | 申請日: | 2013-11-05 |
| 公開(公告)號: | CN203530420U | 公開(公告)日: | 2014-04-09 |
| 發明(設計)人: | 彭柱根;伍能;羅洪娜;李先林;王策 | 申請(專利權)人: | 海南漢能光伏有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/35 | 分類號: | C23C14/35 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 王寶筠 |
| 地址: | 570125 海南省海口*** | 國省代碼: | 海南;66 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 擋板 磁控濺射 鍍膜 設備 | ||
1.一種擋板,其特征在于,包括:
基板,所述基板為一矩形的平面板;
設置于所述基板上的多個遮板,所述多個遮板為形狀和尺寸均相同的矩形的平面板,所述多個遮板均垂直于所述基板,且平行于所述基板一組相對的側面,所述多個遮板的長度均等于所述多個遮板所平行于的、基板的一組相對的側面的長度,相鄰兩個所述遮板之間的間距相等。
2.根據權利要求1所述的擋板,其特征在于,所述多個遮板的高度均為25~50mm,包括端點值。
3.根據權利要求2所述的擋板,其特征在于,所述多個遮板的高度均為30mm。
4.根據權利要求1所述的擋板,其特征在于,相鄰兩個所述遮板之間的間距為3~10mm,包括端點值。
5.根據權利要求4所述的擋板,其特征在于,相鄰兩個所述遮板之間的間距為7mm,包括端點值。
6.根據權利要求1所述的擋板,其特征在于,還包括:與所述多個遮板一一對應的多個連接部,所述多個連接部均為條狀結構,且長度均與所述遮板的長度相等,相對應的所述連接部與所述遮板為一體結構,且呈L型,所述遮板通過貫穿所述連接部的螺栓固定于所述基板上。
7.一種磁控濺射鍍膜設備,其特征在于,所述磁控濺射鍍膜設備的擋板為權利要求1~6任一項所述的擋板。
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