[實(shí)用新型]一種新型真空鍍膜機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320692916.9
• 申請日: 2013-11-05
• 公開（公告）號: CN203530416U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 毛昌海
• 申請（專利權(quán)）人: 艾瑞森表面技術(shù)（蘇州）有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域：

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新型真空鍍膜機(jī)。

背景技術(shù)：

一些光學(xué)零件的光學(xué)表面需要用物理方法或化學(xué)方法鍍上一層或多層薄膜，使得光線經(jīng)過該表面的反射光特性或透射性特性發(fā)生變化，許多機(jī)械加工所采用的刀具表面也需要沉積一層致密的、結(jié)合牢固的超硬鍍層而使其得以硬化，延長其使用壽命，提高切削效率，從而改善被加工部件的精度和光潔度。目前，作為物理鍍膜方法的真空鍍膜，尤其是納米級超薄膜制作技術(shù)，已廣泛地應(yīng)用在電真空、無線電、光學(xué)、原子學(xué)、空間技術(shù)等領(lǐng)域及我們的生活中。

真空鍍膜實(shí)質(zhì)上是在高真空狀態(tài)下利用物理方法在鍍件的表面上鍍上一層薄膜的技術(shù)，它是一種物理現(xiàn)象，真空鍍膜按其方式不同可分為真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜和現(xiàn)代發(fā)展起來的離子鍍膜。而現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不夠合理，操作復(fù)雜，使用不夠方便，生產(chǎn)制造成本高，鍍膜效果不夠好，無法滿足中高檔產(chǎn)品的鍍膜要求。實(shí)用新型內(nèi)容：

本實(shí)用新型的目的是提供一種新型真空鍍膜機(jī)，它結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，操作簡單，使用方便，生產(chǎn)制造成本低，加工效果高，鍍膜效果好，能夠滿足中高檔產(chǎn)品的鍍膜要求。

為了解決背景技術(shù)所存在的問題，本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案：它是由真空室1、放氣孔2、電離規(guī)管3、擴(kuò)散泵4、儲(chǔ)氣桶5、低閥6、熱偶計(jì)規(guī)管7、橡膠管8、機(jī)械泵9、磁力閥10組成；真空室1的上端設(shè)置有放氣孔2，真空室1內(nèi)設(shè)置有電離規(guī)管3，真空室1的下端設(shè)置有擴(kuò)散泵4，擴(kuò)散泵4與儲(chǔ)氣桶5連接，儲(chǔ)氣桶5的上端設(shè)置有低閥6和熱偶計(jì)規(guī)管7，儲(chǔ)氣桶5通過橡膠管8與機(jī)械泵9連接，且儲(chǔ)氣桶5與機(jī)械泵9之間設(shè)置有磁力閥10。

所述的擴(kuò)散泵4內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)流管4-1，導(dǎo)流管4-1的上端設(shè)置有噴嘴4-2，導(dǎo)流管4-2的下端設(shè)置有加熱器4-3，擴(kuò)散泵4的兩側(cè)均勻設(shè)置有數(shù)個(gè)冷卻水管4-4。

本實(shí)用新型在使用過程中，首先在擴(kuò)散泵4的底部加有擴(kuò)散泵油，擴(kuò)散泵油在真空中加熱到沸騰時(shí)，產(chǎn)生的油蒸汽沿導(dǎo)流管4-1上升，再經(jīng)過各級噴嘴4-2向下高速噴出，隨著噴嘴處低壓區(qū)的形成，進(jìn)氣口處的氣體便進(jìn)入泵體內(nèi)，再由排氣口進(jìn)入儲(chǔ)氣桶壓縮儲(chǔ)存后經(jīng)機(jī)械泵9抽出；油蒸汽遇到泵壁后被冷凝又回到泵體底部被重新加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽真空的目的，此種擴(kuò)散泵的抽真空極限可以達(dá)到1.73×10^-5Pa，另外，在使用擴(kuò)散泵時(shí)應(yīng)該注意在真空下狀態(tài)下進(jìn)行，防止擴(kuò)散泵油被氧化變質(zhì)，還要保證冷卻水的暢通。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，操作簡單，使用方便，生產(chǎn)制造成本低，加工效果高，鍍膜效果好，能夠滿足中高檔產(chǎn)品的鍍膜要求。

附圖說明：

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型中擴(kuò)散泵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式：

參照圖1，圖2，本具體實(shí)施方式采用以下技術(shù)方案：它是由真空室1、放氣孔2、電離規(guī)管3、擴(kuò)散泵4、儲(chǔ)氣桶5、低閥6、熱偶計(jì)規(guī)管7、橡膠管8、機(jī)械泵9、磁力閥10組成；真空室1的上端設(shè)置有放氣孔2，真空室1內(nèi)設(shè)置有電離規(guī)管3，真空室1的下端設(shè)置有擴(kuò)散泵4，擴(kuò)散泵4與儲(chǔ)氣桶5連接，儲(chǔ)氣桶5的上端設(shè)置有低閥6和熱偶計(jì)規(guī)管7，儲(chǔ)氣桶5通過橡膠管8與機(jī)械泵9連接，且儲(chǔ)氣桶5與機(jī)械泵9之間設(shè)置有磁力閥10。

所述的擴(kuò)散泵4內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)流管4-1，導(dǎo)流管4-1的上端設(shè)置有噴嘴4-2，導(dǎo)流管4-2的下端設(shè)置有加熱器4-3，擴(kuò)散泵4的兩側(cè)均勻設(shè)置有數(shù)個(gè)冷卻水管4-4。

本具體實(shí)施方式在使用過程中，首先在擴(kuò)散泵4的底部加有擴(kuò)散泵油，擴(kuò)散泵油在真空中加熱到沸騰時(shí)，產(chǎn)生的油蒸汽沿導(dǎo)流管4-1上升，再經(jīng)過各級噴嘴4-2向下高速噴出，隨著噴嘴處低壓區(qū)的形成，進(jìn)氣口處的氣體便進(jìn)入泵體內(nèi)，再由排氣口進(jìn)入儲(chǔ)氣桶壓縮儲(chǔ)存后經(jīng)機(jī)械泵9抽出；油蒸汽遇到泵壁后被冷凝又回到泵體底部被重新加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽真空的目的，此種擴(kuò)散泵的抽真空極限可以達(dá)到1.73×10^-5Pa，另外，在使用擴(kuò)散泵時(shí)應(yīng)該注意在真空下狀態(tài)下進(jìn)行，防止擴(kuò)散泵油被氧化變質(zhì)，還要保證冷卻水的暢通。

本具體實(shí)施方式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，操作簡單，使用方便，生產(chǎn)制造成本低，加工效果高，鍍膜效果好，能夠滿足中高檔產(chǎn)品的鍍膜要求。