[實用新型]一種新型真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201320692916.9
• 申請日: 2013-11-05
• 公開（公告）號: CN203530416U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 毛昌海
• 申請（專利權）人: 艾瑞森表面技術（蘇州）有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域：

本實用新型涉及真空鍍膜機技術領域，尤其涉及一種新型真空鍍膜機。

背景技術：

一些光學零件的光學表面需要用物理方法或化學方法鍍上一層或多層薄膜，使得光線經過該表面的反射光特性或透射性特性發生變化，許多機械加工所采用的刀具表面也需要沉積一層致密的、結合牢固的超硬鍍層而使其得以硬化，延長其使用壽命，提高切削效率，從而改善被加工部件的精度和光潔度。目前，作為物理鍍膜方法的真空鍍膜，尤其是納米級超薄膜制作技術，已廣泛地應用在電真空、無線電、光學、原子學、空間技術等領域及我們的生活中。

真空鍍膜實質上是在高真空狀態下利用物理方法在鍍件的表面上鍍上一層薄膜的技術，它是一種物理現象，真空鍍膜按其方式不同可分為真空蒸發鍍膜、真空濺射鍍膜和現代發展起來的離子鍍膜。而現有的真空鍍膜機結構設計不夠合理，操作復雜，使用不夠方便，生產制造成本高，鍍膜效果不夠好，無法滿足中高檔產品的鍍膜要求。實用新型內容：

本實用新型的目的是提供一種新型真空鍍膜機，它結構設計合理，操作簡單，使用方便，生產制造成本低，加工效果高，鍍膜效果好，能夠滿足中高檔產品的鍍膜要求。

為了解決背景技術所存在的問題，本實用新型是采用以下技術方案：它是由真空室1、放氣孔2、電離規管3、擴散泵4、儲氣桶5、低閥6、熱偶計規管7、橡膠管8、機械泵9、磁力閥10組成；真空室1的上端設置有放氣孔2，真空室1內設置有電離規管3，真空室1的下端設置有擴散泵4，擴散泵4與儲氣桶5連接，儲氣桶5的上端設置有低閥6和熱偶計規管7，儲氣桶5通過橡膠管8與機械泵9連接，且儲氣桶5與機械泵9之間設置有磁力閥10。

所述的擴散泵4內設置有導流管4-1，導流管4-1的上端設置有噴嘴4-2，導流管4-2的下端設置有加熱器4-3，擴散泵4的兩側均勻設置有數個冷卻水管4-4。

本實用新型在使用過程中，首先在擴散泵4的底部加有擴散泵油，擴散泵油在真空中加熱到沸騰時，產生的油蒸汽沿導流管4-1上升，再經過各級噴嘴4-2向下高速噴出，隨著噴嘴處低壓區的形成，進氣口處的氣體便進入泵體內，再由排氣口進入儲氣桶壓縮儲存后經機械泵9抽出；油蒸汽遇到泵壁后被冷凝又回到泵體底部被重新加熱，如此循環工作達到抽真空的目的，此種擴散泵的抽真空極限可以達到1.73×10^-5Pa，另外，在使用擴散泵時應該注意在真空下狀態下進行，防止擴散泵油被氧化變質，還要保證冷卻水的暢通。

本實用新型結構設計合理，操作簡單，使用方便，生產制造成本低，加工效果高，鍍膜效果好，能夠滿足中高檔產品的鍍膜要求。

附圖說明：

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型中擴散泵的內部結構示意圖。

具體實施方式：

參照圖1，圖2，本具體實施方式采用以下技術方案：它是由真空室1、放氣孔2、電離規管3、擴散泵4、儲氣桶5、低閥6、熱偶計規管7、橡膠管8、機械泵9、磁力閥10組成；真空室1的上端設置有放氣孔2，真空室1內設置有電離規管3，真空室1的下端設置有擴散泵4，擴散泵4與儲氣桶5連接，儲氣桶5的上端設置有低閥6和熱偶計規管7，儲氣桶5通過橡膠管8與機械泵9連接，且儲氣桶5與機械泵9之間設置有磁力閥10。

所述的擴散泵4內設置有導流管4-1，導流管4-1的上端設置有噴嘴4-2，導流管4-2的下端設置有加熱器4-3，擴散泵4的兩側均勻設置有數個冷卻水管4-4。

本具體實施方式在使用過程中，首先在擴散泵4的底部加有擴散泵油，擴散泵油在真空中加熱到沸騰時，產生的油蒸汽沿導流管4-1上升，再經過各級噴嘴4-2向下高速噴出，隨著噴嘴處低壓區的形成，進氣口處的氣體便進入泵體內，再由排氣口進入儲氣桶壓縮儲存后經機械泵9抽出；油蒸汽遇到泵壁后被冷凝又回到泵體底部被重新加熱，如此循環工作達到抽真空的目的，此種擴散泵的抽真空極限可以達到1.73×10^-5Pa，另外，在使用擴散泵時應該注意在真空下狀態下進行，防止擴散泵油被氧化變質，還要保證冷卻水的暢通。

本具體實施方式結構設計合理，操作簡單，使用方便，生產制造成本低，加工效果高，鍍膜效果好，能夠滿足中高檔產品的鍍膜要求。