[實用新型]一種新型真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201320692916.9
• 申請日: 2013-11-05
• 公開（公告）號: CN203530416U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 毛昌海
• 申請（專利權）人: 艾瑞森表面技術（蘇州）有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型真空鍍膜機，其特征在于它是由真空室(1)、放氣孔(2)、電離規管(3)、擴散泵(4)、儲氣桶(5)、低閥(6)、熱偶計規管(7)、橡膠管(8)、機械泵(9)、磁力閥(10)組成；真空室(1)的上端設置有放氣孔(2)，真空室(1)內設置有電離規管(3)，真空室(1)的下端設置有擴散泵(4)，擴散泵(4)與儲氣桶(5)連接，儲氣桶(5)的上端設置有低閥(6)和熱偶計規管(7)，儲氣桶(5)通過橡膠管(8)與機械泵(9)連接，且儲氣桶(5)與機械泵(9)之間設置有磁力閥(10)。

2.根據權利要求1所述的一種新型真空鍍膜機，其特征在于所述的擴散泵(4)內設置有導流管(4-1)，導流管(4-1)的上端設置有噴嘴(4-2)，導流管(4-2)的下端設置有加熱器(4-3)，擴散泵(4)的兩側均勻設置有數個冷卻水管(4-4)。