[實用新型]一種離子注入機外部門狀態監控裝置

有效

• 申請號: 201320685462.2
• 申請日: 2013-10-31
• 公開（公告）號: CN203644727U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 郭杰
• 申請（專利權）人: 上海廣奕電子科技有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/244
• 代理公司: 上海碩力知識產權代理事務所 31251
• 代理人: 王法男

技術領域

本實用新型涉及離子注入機外部門狀態監控裝置，屬于工業控制系統技術領域。

背景技術

離子注入機是集成電路制造工序中的關鍵設備，離子注入機是一種高電壓、具有一定輻射、裝有特種氣體及部分部件高速旋轉的設備，為了防止工作時高壓電擊、輻射、氣體泄漏及運動部件壓傷等危及人身安全的事件發生，在離子注入機進入工作狀態之前需要確保外部防護門全部關閉，而且注入機在制造時增加了安全互鎖，即在工作時所有門不允許打開，一旦開啟，注入機將無法正常工作。目前的外部防護門監控電路是由多個門開關與高壓保護繼電器直接串聯，只要其中有一個門沒有關閉，高壓保護繼電器就不會吸合，離子注入機就不會正常工作，從而起到保護作用，但是有很多注入機設計時只是顯示外部防護門有沒有關好，而外部防護門有多扇，并沒有顯示那一扇門沒有關好，這給設備的維修保養帶來不便，一旦出現該故障，維修人員就必須對所有外部防護門逐一查找，才能夠發現故障點，而且測量不方便，浪費人力及生產時間，造成注入機產能下降，生產效率降低。因此設計一個能夠逐一顯示每扇外部門狀態的監控裝置勢在必行，以減輕維修工作量和提高設備利用率。

實用新型內容

本實用新型的目的：旨在提供一種結構簡單，安全可靠，能夠快速定位離子注入機外部防護門故障點的監控裝裝置。

這種離子注入機外部門狀態監控裝置包括依次串聯的門行程開關，所述門行程開關設有常開觸點和常閉觸點，其特征在于：所述立體注入機外部門狀態監控裝置還包括有門狀態指示器，所述的門狀態指示器由電阻和發光二極管依次串聯組成并串接在門行程開關的常閉觸點之后。

本實用新型的有益效果是：1.能夠迅速準確的判斷出沒有關好的門位置。2.避免了逐一查找的繁瑣過程。3.節約了維修時間，提高了設備利用率。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的電路圖；

圖中，1-門行程開關1.1-常開觸點1.2-常閉觸點2-電阻3-發光二極管。

具體實施方式

下面我們結合附圖和具體的實例來對這種一種離子注入機外部門狀態監控裝置進一步的詳細說明，以求更為清楚明白地闡述其結構和使用方式。

這種離子注入機外部門狀態監控裝置包括依次串聯的門行程開關1，所述門行程開關1設有常開觸點1.1和常閉觸點1.2，其特征在于：所述立體注入機外部門狀態監控裝置還包括有門狀態指示器，所述的門狀態指示器由電阻2和發光二極管3依次串聯組成并串接在門行程開關1的常閉觸點1.2之后。電阻2起到限制電流，防止電流過大燒壞發光二極管3的作用。

若干個門狀態指示器分別與離子注入機每扇門所對應的門行程開關的常閉觸點串接。原有注入機只利用了門行程開關的常開觸點，所有門串聯形成保護，若離子注入機的其中一扇門未正常關閉，那么離子注入機就不會正常工作，但常閉觸點處于閑置狀態，本設計充分利用閑置常閉觸點用來監控離子注入機門的開閉狀態。SW1--SWN（N為外部門的數量）是離子注入機原有外部門所對應的門行程開關或接近開關的常閉觸點，優先級別為門1到門N,即：當門1關好時，門1對應的發光二極管亮，其余不亮；當門2關好時，門1和門2對應的發光二極管亮，其余不亮。如果有多扇外部防護門沒有關好，把發光二級管未點亮的外部防護門按次序關好，依次處理即可，簡單明了。

電源也利用原有開關上的+12V電源，不用外接電源。