[實用新型]一種離子注入機外部門狀態監控裝置有效
| 申請號: | 201320685462.2 | 申請日: | 2013-10-31 |
| 公開(公告)號: | CN203644727U | 公開(公告)日: | 2014-06-11 |
| 發明(設計)人: | 郭杰 | 申請(專利權)人: | 上海廣奕電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01J37/317 | 分類號: | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司: | 上海碩力知識產權代理事務所 31251 | 代理人: | 王法男 |
| 地址: | 201300 上海市浦*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 離子 注入 外部 狀態 監控 裝置 | ||
【權利要求書】:
1.一種離子注入機外部門狀態監控裝置,包括依次串聯的門行程開關(1),所述門行程開關(1)設有常開觸點(1.1)和常閉觸點(1.2),其特征在于:所述立體注入機外部門狀態監控裝置還包括有門狀態指示器,所述的門狀態指示器由電阻(2)和發光二極管(3)依次串聯組成并串接在門行程開關(1)的常閉觸點(1.2)之后。?
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