[實用新型]一種晶片吹砂傳送裝置有效
| 申請號: | 201320683135.3 | 申請日: | 2013-11-01 |
| 公開(公告)號: | CN203536395U | 公開(公告)日: | 2014-04-09 |
| 發明(設計)人: | 郭城;呂明;紀大鵬;趙海玲;徐明星;郭英云 | 申請(專利權)人: | 山東科芯電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 濟南日新專利代理事務所 37224 | 代理人: | 李茜 |
| 地址: | 250200 山東省濟南*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 晶片 傳送 裝置 | ||
1.一種晶片吹砂傳送裝置,包括有吹砂機、機架、傳送帶、凹型圓孔、一組噴槍等,其特征在于:在所述傳送帶上設置兩排以上凹型圓孔,并在其上方設置所述一組噴槍的擺動機構。
2.根據權利要求1所述的一種晶片吹砂傳送裝置,其特征在于:所述一組噴槍與擺桿固連,所述擺桿與軸承內徑固連?,軸承座與所述機架固連。
3.根據權利要求1或2所述的一種晶片吹砂傳送裝置,其特征在于:所述一組噴槍的每個噴槍上的砂管與壓縮空氣管路中心線之間的夾角設置為45°。
4.根據權利要求1所述的一種晶片吹砂傳送裝置,其特征在于:所述擺動機構是由固定在所述機架上的擺幅連動電機、依次連接的連動盤、三角連桿、連動軸承、連動拉桿Ⅰ、連動拉桿Ⅱ、擺桿組成,所述的連動拉桿Ⅰ與所述連動拉桿Ⅱ鉸接,所述連動拉桿Ⅱ的另一端通過連動軸承、三角連桿與所述連動盤鉸接。
5.根據權利要求4所述的一種晶片吹砂傳送裝置,其特征在于:所述三角連桿形狀為鈍角等腰三角形,并在其兩個頂角設置銷軸Ⅰ、銷軸Ⅱ,所述連動軸承與所述連動拉桿Ⅱ鉸接,所述銷軸Ⅱ置于所述連動盤的扇形環形槽內。
6.根據權利要求5所述的一種晶片吹砂傳送裝置,其特征在于:所述銷軸Ⅱ設置在所述連動盤偏心的位置。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





