[實(shí)用新型]固晶機(jī)用多焊臂裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320683041.6
• 申請日: 2013-10-25
• 公開（公告）號: CN203536379U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 區(qū)大公
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市恒睿智達(dá)科技有限公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;H01L21/67;H01L21/683
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技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體固晶技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種固晶機(jī)用多焊臂裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體固晶裝置在進(jìn)行作時需要將固晶用的物料通過上料裝置輸送至相應(yīng)位置后，由機(jī)械手將晶圓，如LED晶圓移動到基板對應(yīng)位置進(jìn)行固定。

現(xiàn)有的半導(dǎo)體固晶裝置通常只有一個焊臂和焊頭，在焊接金線時其焊接的效率較低。因此如何提高晶圓的焊接效率，降低生成本，需要解決的一個重要課題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型主要解決的技術(shù)問題是提供一種固晶機(jī)用多焊臂裝置，該固晶機(jī)用多焊臂裝置可以避免采用一個焊臂時單個焊頭導(dǎo)致的焊接單位時間長，提高焊接效率，降低生產(chǎn)成本。

為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種固晶機(jī)用多焊臂裝置，該固晶機(jī)用多焊臂裝置包括設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)的機(jī)架，在該旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有焊臂連接座，該焊臂連接座四周分別設(shè)有焊臂，每個焊臂包括焊臂本體，在該焊臂本體上設(shè)有一個使吸嘴支架上下滑動氣缸，該吸嘴支架設(shè)有與氣源連接的晶圓吸嘴，其中所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)和滑動氣缸分別與控制模塊控制連接。

進(jìn)一步地說，所述焊臂本體呈S形。

進(jìn)一步地說，所述吸嘴支架上設(shè)有與焊臂上導(dǎo)向槽配合的一個或兩個導(dǎo)向條。

進(jìn)一步地說，所述導(dǎo)向條為兩個時所述導(dǎo)向條平行設(shè)置。

進(jìn)一步地說，所述焊臂連接座為方形或圓柱形。

本實(shí)用新型固晶機(jī)用多焊臂裝置，包括設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)的機(jī)架，在該旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有焊臂連接座，該焊臂連接座四周分別設(shè)有焊臂，每個焊臂上設(shè)有一個使吸嘴支架上下滑動氣缸，該吸嘴支架設(shè)有與氣源連接的晶圓吸嘴，其中所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)和滑動氣缸分別與控制模塊控制連接。工作時，旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動焊臂本體轉(zhuǎn)動，再通過調(diào)節(jié)吸嘴支架與焊臂之間的位置，使晶圓吸嘴準(zhǔn)確拾起晶圓。由于焊臂連接座四周均勻分部有四個晶圓吸嘴的焊臂本體，每個晶圓吸嘴之間為90度的夾角。當(dāng)?shù)谝粋€晶圓吸嘴拾起晶圓后只需要轉(zhuǎn)動90度，第二個晶圓吸嘴拾起第二個晶圓進(jìn)行后續(xù)的工藝處理，同時拾起第三個、第四個晶圓。由于在拾起每個晶圓時，每個焊臂只需要轉(zhuǎn)動90度，其轉(zhuǎn)動角度小，可以提高拾起晶圓的動作的時間，進(jìn)而減少晶圓固晶等封裝的平均時間，提高半導(dǎo)體的封裝效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，而描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。

圖1是本實(shí)用新型固晶機(jī)用多焊臂裝置實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型焊臂結(jié)構(gòu)放大示意圖。

下面結(jié)合實(shí)施例，并參照附圖，對本實(shí)用新型目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)作進(jìn)一步說明。

具體實(shí)施方式

為了使實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型提供一種固晶機(jī)用多焊臂裝置實(shí)施例。

該固晶機(jī)用多焊臂裝置包括：設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)11的機(jī)架1，在該旋轉(zhuǎn)電機(jī)11的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有焊臂連接座2，該焊臂連接座2四周分別設(shè)有焊臂3，每個焊臂3包括焊臂本體31，在該焊臂本體31上設(shè)有一個使吸嘴支架30上下移動的滑動氣缸33，該吸嘴支架30設(shè)有與氣源連接的晶圓吸嘴32，其中所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)11和滑動氣缸33分別與控制模塊(附圖未標(biāo)示)控制連接。

具體地說，所述焊臂本體31包括呈S形。所述焊臂連接座2可以設(shè)為方形或圓柱形。所述吸嘴支架30上設(shè)有與焊臂本體31上導(dǎo)向槽(附圖未標(biāo)示)配合的一個或兩個導(dǎo)向條，當(dāng)所述導(dǎo)向條為兩個時所述導(dǎo)向條平行設(shè)置。該導(dǎo)向條可以使吸嘴支架30在移動時更加平穩(wěn)。

工作時，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)11帶動焊臂本體轉(zhuǎn)動，再通過調(diào)節(jié)吸嘴支架30與焊臂本體31之間的位置，使晶圓吸嘴準(zhǔn)確拾起晶圓。焊臂連接座2四周均勻分部有四個晶圓吸嘴的焊臂本體31，每個晶圓吸嘴之間為90度的夾角。當(dāng)?shù)谝粋€晶圓吸嘴拾起晶圓后只需要轉(zhuǎn)動90度，第二個晶圓吸嘴拾起第二個晶圓進(jìn)行后續(xù)的工藝處理，同時拾起第三個、第四個晶圓。由于在拾起每個晶圓時，每個焊臂只需要轉(zhuǎn)動90度，其轉(zhuǎn)動角度小，可以提高拾起晶圓的動作的時間，進(jìn)而減少晶圓固晶等封裝的平均時間，提高半導(dǎo)體的封裝效率。

以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換，而這些修改或替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。