[實用新型]固晶機用多焊臂裝置

有效

• 申請號: 201320683041.6
• 申請日: 2013-10-25
• 公開（公告）號: CN203536379U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 區大公
• 申請（專利權）人: 深圳市恒睿智達科技有限公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.固晶機用多焊臂裝置，包括設有旋轉電機的機架，其特征在于：

在該旋轉電機的轉軸上設有焊臂連接座，該焊臂連接座四周分別設有焊臂，每個焊臂包括焊臂本體，在該焊臂本體上設有一個使吸嘴支架上下滑動氣缸，該吸嘴支架設有與氣源連接的晶圓吸嘴，其中所述旋轉電機和滑動氣缸分別與控制模塊控制連接。

2.根據權利要求1所述的固晶機用多焊臂裝置，其特征在于：

所述焊臂本體呈S形。

3.根據權利要求1或2所述的固晶機用多焊臂裝置，其特征在于：

所述吸嘴支架上設有與焊臂上導向槽配合的一個或兩個導向條。

4.根據權利要求3所述的固晶機用多焊臂裝置，其特征在于：

所述導向條為兩個時所述導向條平行設置。

5.根據權利要求1所述的固晶機用多焊臂裝置，其特征在于：

所述焊臂連接座為方形或圓柱形。