[實用新型]基于二維電子氣的可調式恒流管

有效

• 申請號: 201320677332.4
• 申請日: 2013-10-30
• 公開（公告）號: CN203521425U
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 鄧群雄;郭文平;柯志杰;黃慧詩
• 申請（專利權）人: 江蘇新廣聯綠色照明工程有限公司
• 主分類號: H01L29/778
• 分類號: H01L29/778
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 曹祖良

技術領域

本實用新型涉及一種可調式恒流管，尤其是一種基于二維電子氣的可調式恒流管。

背景技術

在現行的恒流管中，制造原理均基于二極管和場效應管，每種型號恒流管屬于恒流值確定，使用較為固定。二維電子氣存在可以自由在二維方向移動，而在第三維上受到限制的現象。

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種基于二維電子氣的可調式恒流管，實現變化柵極的偏置電壓，達到調節電子氣電流大小的目的。

按照本實用新型提供的技術方案，所述基于二維電子氣的可調式恒流管，包括襯底，其特征是：在所述襯底上表面設置GaN層，在GaN層上表面設置AlGaN層，在GaN層和AlGaN層之間形成二維電子氣；在所述AlGaN層上表面分別設置漏極金屬層、柵極金屬層和源極金屬層。

所述漏極金屬層、源極金屬層與AlGaN層之間形成歐姆接觸；所述柵極金屬層與AlGaN層之間為非歐姆接觸。

所述漏極金屬層和源極金屬層為Ti/Al或Ti/Al/Ti/Au或Ti/Al/Ni/Au金屬層。

所述柵極金屬層為Pt金屬。

所述襯底為藍寶石襯底。

本實用新型通過在柵極金屬層上加上不同的偏置電壓，使此偏置電壓形成的電場作用于二維電子氣的第三維方向，限制二維電子氣中二維方向的通道深度，使電子氣載流子發生變化；從而實現變化柵極的偏置電壓，達到改變電子氣電流大小的可調式目的。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合具體附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖1所示：所述基于二維電子氣的可調式恒流管包括襯底1、GaN層2、二維電子氣3、AlGaN層4、漏極金屬層5、柵極金屬層6、源極金屬層7等。

如圖1所示，本實用新型包括襯底1，在襯底1上表面設置GaN層2，在GaN層2上表面設置AlGaN層4，在GaN層2和AlGaN層4之間形成二維電子氣3；在所述AlGaN層4上表面分別設置漏極金屬層5、柵極金屬層6和源極金屬層7；所述漏極金屬層5、源極金屬層7與AlGaN層4之間形成歐姆接觸；所述柵極金屬層6與AlGaN層4之間為非歐姆接觸；

所述漏極金屬層5和源極金屬層7為Ti/Al或Ti/Al/Ti/Au或Ti/Al/Ni/Au金屬層；

所述柵極金屬層6為Pt金屬；

所述襯底1為藍寶石襯底。

本實用新型所述基于二維電子氣的可調式恒流管的制造工藝如下：（1）在藍寶石襯底1上形成GaN層2；（2）在GaN層2上生長AlGaN層4；（3）在AlGaN層4上蒸鍍Ti/Al或Ti/Al/Ti/Au或Ti/Al/Ni/Au，形成漏極金屬層5和源極金屬層7；（4）在AlGaN層4上蒸鍍上Pt金屬形成柵極金屬層6。

本實用新型通過在柵極金屬層上6加上不同的偏置電壓，使此偏置電壓形成的電場作用于二維電子氣3的第三維方向，限制二維電子氣3中二維方向的通道深度，使電子氣載流子發生變化；從而達到變化柵極的偏置電壓，改變電子氣電流大小的可調式目的。