[實用新型]基于二維電子氣的可調式恒流管有效

申請號：	201320677332.4	申請日：	2013-10-30
公開（公告）號：	CN203521425U	公開（公告）日：	2014-04-02
發明（設計）人：	鄧群雄;郭文平;柯志杰;黃慧詩	申請（專利權）人：	江蘇新廣聯綠色照明工程有限公司
主分類號：	H01L29/778	分類號：	H01L29/778
代理公司：	無錫市大為專利商標事務所 32104	代理人：	曹祖良
地址：	214111 江蘇省無錫***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	基于二維電子調式流管
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【權利要求書】：

1.一種基于二維電子氣的可調式恒流管，包括襯底（1），其特征是：在所述襯底（1）上表面設置GaN層（2），在GaN層（2）上表面設置AlGaN層（4），在GaN層（2）和AlGaN層（4）之間形成二維電子氣（3）；在所述AlGaN層（4）上表面分別設置漏極金屬層（5）、柵極金屬層（6）和源極金屬層（7）。

2.如權利要求1所述的基于二維電子氣的可調式恒流管，其特征是：所述漏極金屬層（5）、源極金屬層（7）與AlGaN層（4）之間形成歐姆接觸；所述柵極金屬層（6）與AlGaN層（4）之間為非歐姆接觸。

3.如權利要求1所述的基于二維電子氣的可調式恒流管，其特征是：所述漏極金屬層（5）和源極金屬層（7）為Ti/Al或Ti/Al/Ti/Au或Ti/Al/Ni/Au金屬層。

4.如權利要求1所述的基于二維電子氣的可調式恒流管，其特征是：所述柵極金屬層（6）為Pt金屬。

5.如權利要求1所述的基于二維電子氣的可調式恒流管，其特征是：所述襯底（1）為藍寶石襯底。

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