[實用新型]納米壓印對準裝置

有效

• 申請號: 201320675247.4
• 申請日: 2013-10-30
• 公開（公告）號: CN203535382U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 史曉華;劉曉成
• 申請（專利權）人: 蘇州光舵微納科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 魏亮芳

技術領域

本實用新型涉及一種對準裝置，特別涉及一種納米壓印對準裝置。

背景技術

微納米壓印技術及設備是實現廉價、快速的微納圖案化的核心技術及設備，其在科研應用及各種大規模產業化應用方面都具有重大的市場前景。要實現對微納圖案的重復有序壓印，即在已有圖案的基底上再進行圖案壓印制作，需要所使用的壓印設備具有對準機構及功能。

目前已有的微結構圖案對準機構，是應用于光刻機之上的對準機構，相比于光刻機的對準裝置，納米壓印設備的對準裝置的不同在于：實現模板與基片對準后，模板與基片需要相互緊密擠壓并固定（相互鎖定，不能再有相對移動），然后送入壓印腔進行壓印操作；而光刻機的對準機構是在實現兩個片子調整對準后僅需要模板與基片貼住即可，且不用再移動。

實用新型內容

本實用新型的目的就是針對上述問題，提供一種可以實現模板與基片更好地緊密擠壓和固定的納米壓印對準裝置。

為了實現上述目的，本實用新型提供了以下技術方案：納米壓印對準裝置，包括視覺觀察機構，其還包括：

分別用于固定被測物的第一、第二平臺，其設置于上述視覺觀察機構下方，第一平臺安裝于一平臺座上，第二平臺連接一球軸機構、通過該球軸機構進行多方向多角度的擺動；

該球軸機構的下方還設置有用于驅動上述第二平臺多個方向運動的多個驅動機構。

優選地，上述的球軸機構包括柱體以及安裝于該柱體上并在該柱體上自由轉動的球體，該球體還連接上述的第二平臺。

優選地，上述的平臺座上設置有滑軌，上述第一平臺的一側滑動連接于該滑軌內。

優選地，上述的多個驅動機構包括從上至下依次設置的旋轉運動驅動機構、XY軸運動驅動機構和Z軸運動驅動機構。

優選地，上述的第二平臺上還設置有夾緊機構。

采用以上技術方案的有益效果在于：本實用新型將一個平臺安裝在一個平臺座上，另一個平臺連接在一球軸機構上，并在球軸機構下方設置多個驅動機構，通過球軸機構進行的多方向多角度的擺動，使得模板和基片（即模板和基片）可以被調整平行，然后再通過多個驅動機構的驅動作用和視覺觀察機構，使得模板和基片無限接近，并將其上的十字靶標對齊。因此，利用上述技術方案，本實用新型的裝置相比于現有技術可以實現模板與基片更好地緊密擠壓和固定，從而更優地實現對微納圖案的重復有序壓印。

附圖說明

圖1是本實用新型的納米壓印對準裝置的主視圖。

圖2是本實用新型的納米壓印對準裝置的右視圖。

圖3是本實用新型的納米壓印對準裝置的立體圖。

圖4是本實用新型的納米壓印對準裝置的球軸的結構示意圖。

其中，1.視覺觀察機構?11.顯微鏡?12.CCD相機?13.顯微鏡光源?14.顯微鏡安裝座?2.第一平臺?3.第二平臺?4.平臺座?41.滑軌?5.球軸機構?51.柱體?52.球體?6.旋轉運動驅動機構?7.?XY軸運動驅動機構?8.?Z軸運動驅動機構?9.夾緊機構。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本實用新型的優選實施方式。

如圖1-3所示，本實用新型的納米壓印對準裝置的第一種實施方式中，其包括：視覺觀察機構1，該視覺觀察機構1具體可以包括顯微鏡11、CCD相機12、顯微鏡光源13和顯微鏡安裝座14，其作用是觀察模板和基片的中心是否對齊，視覺觀察機構1其實并不限于采用如上的部件，其為現有技術中可以獲知的，在此不再贅述；分別用于固定被測物的兩個平臺，即第一平臺2和第二平臺3，它們都設置于視覺觀察機構1的下方，其中，第一平臺2安裝于一平臺座4上，第二平臺3連接一球軸機構5、通過該球軸機構5進行多方向多角度的擺動；該球軸機構5的下方還設置有用于驅動上述平臺多個方向運動的多個驅動機構，該驅動機構可以根據需要進行調整并安裝，如驅動第二平臺3上下運動、左右運動等的驅動機構。通過球軸機構5進行的多方向多角度的擺動，使得置于第一平臺2和第二平臺3上的模板和基片可以被調整平行，然后再通過多個驅動機構的驅動作用和視覺觀察機構，使得模板和基片無限接近，并將其上的十字靶標對齊。因此，通過該技術方案，本裝置相比于現有技術可以實現模板與基片更好地緊密擠壓和固定，從而更優地實現對微納圖案的重復有序壓印。