[實用新型]納米壓印對準裝置有效
| 申請號： | 201320675247.4 | 申請日： | 2013-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN203535382U | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發明（設計）人： | 史曉華;劉曉成 | 申請（專利權）人： | 蘇州光舵微納科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232 | 代理人： | 魏亮芳 |
| 地址： | 215513 江蘇省蘇州市常熟市常熟*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 納米 壓印 對準 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.?納米壓印對準裝置，包括視覺觀察機構，其特征在于：還包括：
分別用于固定被測物的第一、第二平臺，其設置于所述視覺
觀察機構下方，第一平臺安裝于一平臺座上，第二平臺連接一球軸機構、通過所述球軸機構進行多方向多角度的擺動；
所述球軸機構的下方還設置有用于驅動所述第二平臺多個方向運動的多個驅動機構。
2.?根據權利要求1所述的納米壓印對準裝置，其特征在于：所述球軸機構包括柱體以及安裝于所述柱體上并在所述柱體上自由轉動的球體，所述球體還連接所述第二平臺。
3.?根據權利要求1所述的納米壓印對準裝置，其特征在于：所述平臺座上設置有滑軌，所述第一平臺的一側滑動連接于所述滑軌內。
4.?根據權利要求1所述的納米壓印對準裝置，其特征在于：所述多個驅動機構包括從上至下依次設置的旋轉運動驅動機構、XY軸運動驅動機構和Z軸運動驅動機構。
5.?根據權利要求1所述的納米壓印對準裝置，其特征在于：所述第二平臺上還設置有夾緊機構。
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