[實用新型]具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒

有效

• 申請號: 201320672796.6
• 申請日: 2013-10-29
• 公開（公告）號: CN203774269U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 張玨;陳思安
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，其特征在于，包括晶圓盒本體和電子標簽，所述電子標簽設置于所述晶圓盒本體的側面，所述電子標簽包括存儲單元、重力加速度探測器和邏輯判斷單元，所述邏輯判斷單元分別和所述存儲單元與所述重力加速度探測器連接。

2.根據權利要求1所述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，其特征在于，所述電子標簽還包括液晶顯示屏，所述液晶顯示屏和所述存儲單元連接。

3.根據權利要求2所述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，其特征在于，所述存儲單元包括最大的加速度允許值存放單元和加速度超標與否存放單元，所述最大的加速度允許值存放單元和加速度超標與否存放單元分別與所述邏輯判斷單元連接，所述最大的加速度允許值存放單元和加速度超標與否存放單元分別與所述液晶顯示屏連接。

4.根據權利要求3所述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，其特征在于，所述存儲單元還包括基本信息單元，所述基本信息單元與所述液晶顯示屏連接。

5.根據權利要求3所述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，其特征在于，所述晶圓盒本體的一相對側分別設有把手。