[實用新型]具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320672796.6 | 申請日： | 2013-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN203774269U | 公開（公告）日： | 2014-08-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張玨;陳思安 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 異常 碰撞 掉落 檢測 功能 晶圓盒 | ||
1.一種具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，其特征在于，包括晶圓盒本體和電子標簽，所述電子標簽設(shè)置于所述晶圓盒本體的側(cè)面，所述電子標簽包括存儲單元、重力加速度探測器和邏輯判斷單元，所述邏輯判斷單元分別和所述存儲單元與所述重力加速度探測器連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，其特征在于，所述電子標簽還包括液晶顯示屏，所述液晶顯示屏和所述存儲單元連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，其特征在于，所述存儲單元包括最大的加速度允許值存放單元和加速度超標與否存放單元，所述最大的加速度允許值存放單元和加速度超標與否存放單元分別與所述邏輯判斷單元連接，所述最大的加速度允許值存放單元和加速度超標與否存放單元分別與所述液晶顯示屏連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，其特征在于，所述存儲單元還包括基本信息單元，所述基本信息單元與所述液晶顯示屏連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，其特征在于，所述晶圓盒本體的一相對側(cè)分別設(shè)有把手。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
