[實用新型]具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒

有效

• 申請號: 201320672796.6
• 申請日: 2013-10-29
• 公開（公告）號: CN203774269U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 張玨;陳思安
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒。

背景技術

在半導體的生產工藝中，經常需要使用晶圓盒對晶圓在不同機臺間進行工藝制程或者量測。一般晶圓盒從一個機臺到另一個機臺，都是通過操作者手抱實現，或者將晶圓盒放在推車里運送到下個機臺。目前，潔凈室中雖然有自動化物料傳送系統，但晶圓盒從機臺到自動化物料傳送系統還是需要操作者手抱，或通過推車傳送。在操作者手動操作的時候，有時可能發生意外，造成晶圓盒掉在地上，或者晶圓盒發生意外碰撞。如果發生上述現象，嚴重時，會造成晶圓盒內的晶圓破片，即便沒有發生破片，也會因為碰撞引發的磨損致使顆粒物質增多，導致產品良率的降低。

對于推車傾倒，或者明顯看到晶圓盒掉落造成破片，一般操作者會基于職業操守如實上報，以便及時進行處理，但對于意外碰撞，因為不同的操作者對于碰撞的嚴重程度的認知不同，不一定會及時上報。如此，收到過意外碰撞的晶圓盒后續會造成顆粒物質過多，影響產品良率，而且還不易分析出良率低的原因。

目前，雖然有貼紙狀的沖擊檢測器，其可以貼在晶圓盒上來檢測晶圓盒是否出現撞擊。該改沖擊檢測器存在以下問題：

首先，這種貼紙狀的沖擊檢測器是一次性的。如果經受得撞擊大于其閾值，內層玻璃管會破裂，兩種液體混合后會變紅色，但再無檢測功能，如此會使得運作成本變高。

其次，當貼紙狀的沖擊檢測器失效后，即便生產線上愿意花成本來繼續粘貼新的上去，其舊的已經失效的沖擊檢測器的去處是比較困難的，因為為了使沖擊檢測器牢固緊貼晶圓盒，其背膠很牢。如果不用力刮掉，晶圓盒表面會有殘膠，時間久了是一個顆粒雜質產生的源頭。而如果用力去除，又會損傷晶圓盒。

其三，此沖擊檢測器僅能提供視覺提醒，無法立刻觸發任何系統進行提醒，因此，必須依靠操作者及時發現，及時上報才行。

因此，如何提供一種可以將晶圓盒異常碰撞或掉落的信息及時檢測并觸發提醒功能的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，可以將晶圓盒異常碰撞或掉落的信息及時檢測并能被讀取而觸發提醒功能。

為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，包括晶圓盒本體和電子標簽，所述電子標簽設置于所述晶圓盒本體的側面，所述電子標簽包括存儲單元、重力加速度探測器和邏輯判斷單元，所述邏輯判斷單元分別和所述存儲單元與所述重力加速度探測器連接。

優選的，在上述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒中，所述電子標簽還包括液晶顯示屏，所述液晶顯示屏和所述存儲單元連接。

優選的，在上述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒中，所述存儲單元包括最大的加速度允許值存放單元和加速度超標與否存放單元，所述最大的加速度允許值存放單元和加速度超標與否存放單元分別與所述邏輯判斷單元連接，所述最大的加速度允許值存放單元和加速度超標與否存放單元分別與所述液晶顯示屏連接。

優選的，在上述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒中，所述存儲單元還包括基本信息單元，所述基本信息單元與所述液晶顯示屏連接。

優選的，在上述的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒中，所述晶圓盒本體的一相對側分別設有把手。

本實用新型提供的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒，通過在晶圓盒的電子標簽中增設重力加速度傳感器，來實時檢測晶圓盒的重力加速度。當晶圓盒在傳送過程中發生意外時，如掉落碰撞，都會產生一定的重力加速度，所述重力加速度探測器可以實時偵測晶圓盒所受的重力加速度，邏輯判斷單元根據重力加速度探測器偵測到的重力加速度信息，判斷晶圓盒是否經受過碰撞或跌落，進而可以通過后續的機臺讀取電子標簽中的信息，獲知晶圓盒是否經受過碰撞或跌落，若經受過碰撞或跌落，則需要進行掃描檢測是否完好，若沒有經受過碰撞或者跌落，則可以后續工藝制程。

附圖說明

本實用新型的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒由以下的實施例及附圖給出。

圖1是本實用新型一實施例的具有異常碰撞或掉落檢測功能的晶圓盒的結構示意圖；

圖2是本實用新型一實施例的電子標簽的結構原理示意圖；

圖3是本實用新型一實施例的應用流程示意圖。