[實(shí)用新型]大型石墨套碳化硅涂層用氣相沉積爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320671039.7
• 申請(qǐng)日: 2013-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN203530428U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭淵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都潤封電碳有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44;C23C16/46;C23C16/52;C23C16/32
• 代理公司: 成都中亞專利代理有限公司 51126
• 代理人: 王崗

1.?一種大型石墨套碳化硅涂層用氣相沉積爐；其特征在于：

包括爐體（4）、爐蓋（1）及爐底（6），在所述爐體（4）從外到內(nèi)里依次有爐殼（22）、外層保溫屏（14）、外層發(fā)熱體（16）、沉積腔、內(nèi)層發(fā)熱體（3）及內(nèi)層保溫屏（5）；

所述的沉積腔為環(huán)狀，由沉積腔外壁（13）、沉積腔內(nèi)壁（2）、沉積腔頂蓋（21）及沉積腔底板（12）組成；沉積腔底板（12）上有進(jìn)氣孔；

所述沉積腔外壁（13）的外側(cè)配置有外層發(fā)熱體（16），所述的沉積腔內(nèi)壁（2）的外側(cè)配置有內(nèi)層發(fā)熱體（3）；所述的內(nèi)層發(fā)熱體（3）的內(nèi)側(cè)有內(nèi)層保溫屏（5）；所述的爐底（6）配置有支承件砌體（9）；所述內(nèi)、外層保溫屏（5、14）的頂部設(shè)有保溫蓋（17），下部設(shè)有保溫墊層（11）；

由外層保溫屏（14）、內(nèi)層保溫屏（5）、保溫蓋（17）?及保溫墊層（11）?構(gòu)成了一個(gè)封閉的環(huán)狀保溫腔；

進(jìn)氣管（8）設(shè)于爐底（6），進(jìn)氣管（8）?為金屬接管；分別從爐底（6）進(jìn)入，進(jìn)氣管（8）分布于支承件砌體（9）兩個(gè)同心環(huán)之間；進(jìn)氣管（8）的內(nèi)口處有氣體分布罩（10）；氣體分布罩（10）為空心圓柱狀，四周及頂面均勻布滿小孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述大型石墨套碳化硅涂層用氣相沉積爐，其特征在于：所述的沉積腔底板（12）的進(jìn)氣孔是沿所述沉積腔的底部呈均勻分布的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述大型石墨套碳化硅涂層用氣相沉積爐，其特征在于：所述的沉積腔內(nèi)設(shè)有熱電偶A（18），熱電偶A（18）從上部插入，并固定在爐蓋（1）上；

保溫腔內(nèi)設(shè)有熱電偶B（15）和熱電偶C（19），熱電偶B（15）從側(cè)面插入，并固定在爐殼上，熱電偶C（19）從上部插入到沉積腔內(nèi)壁與內(nèi)層發(fā)熱體（3）之間的空隙中，并固定在爐蓋（1）上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述大型石墨套碳化硅涂層用氣相沉積爐，其特征在于：所述沉積腔是通過支承件砌體（9）支承在保溫腔中間的，整個(gè)支承件砌體（9）呈兩個(gè)同心環(huán)狀，支承件砌體（9）的上部通過沉積腔底板（12）支承了整個(gè)沉積腔，支承件砌體（9）的下部支承在爐底（6）內(nèi)填的耐火材料層上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述大型石墨套碳化硅涂層用氣相沉積爐，其特征在于：外層發(fā)熱體（16）及內(nèi)層發(fā)熱體（3）與各自的發(fā)熱體接出電極（7）相連從爐底（6）接出，內(nèi)、外層發(fā)熱體（3、16）分別與各自的加熱電源相連，各自通過熱電偶A（15）及熱電偶C（19）實(shí)現(xiàn)獨(dú)立控制。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述大型石墨套碳化硅涂層用氣相沉積爐，其特征在于：所述爐體（4）?由鋼板制作，所述爐底（6）?由鋼板制作，爐底（6）?上環(huán)形分布了6根進(jìn)氣管（8），爐底（6）上還有供電流進(jìn)出的4根發(fā)熱體接出電極（7）?，爐底（6）?與發(fā)熱體接出電極（7）?接觸處有密封結(jié)構(gòu)，

所述爐體（4）、爐蓋（1）及爐底（6）其外殼均包括殼體及冷卻水套，從而保證金屬殼體的有效冷卻。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述大型石墨套碳化硅涂層用氣相沉積爐，其特征在于：氣體分布罩（10）采用金屬制作；內(nèi)、外層發(fā)熱體（3、16）均采用石墨材料制作。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述大型石墨套碳化硅涂層用氣相沉積爐，其特征在于：所述爐蓋（1）上還有排氣管（20），所述爐蓋（1）采用快開結(jié)構(gòu)。