[實用新型]三維相移電子散斑干涉儀

有效

• 申請號: 201320669954.2
• 申請日: 2013-10-28
• 公開（公告）號: CN203534532U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 李鷹
• 申請（專利權）人: 卓力特光電儀器(蘇州)有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B9/02
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 范晴

1.一種三維相移電子散斑干涉儀，其特征在于：它包括儀器座（1）和固定在該儀器座上面的儀器殼（2），所述儀器殼（2）上安裝有分別布置在該儀器殼上側、下側、左側、右側的四個反射鏡套筒（3），每個反射鏡套筒（3）中均安裝有一反射鏡（4），所述儀器殼（2）內設有：一固體綠光激光器（5）、一分光棱鏡（6）、一壓電陶瓷相移器（7）、以及一CCD攝像頭（8），所述CCD攝像頭（8）與計算機電連接，所述分光棱鏡（6）接收所述固體綠光激光器（5）發出的激光束并將該激光束一分為四，由分光棱鏡（6）分出的這四束光分別射向所述的四個反射鏡（4），并由所述反射鏡反射到受檢物表面。

2.根據權利要求1所述的三維相移電子散斑干涉儀，其特征在于：所述儀器座（1）上開設有四個呈矩形分布的豎直通孔。

3.根據權利要求1或2所述的三維相移電子散斑干涉儀，其特征在于：所述三維相移電子散斑干涉儀還包括一個能夠將所述儀器座（1）和儀器殼（2）收容在其內的防塵罩。