[實用新型]三維相移電子散斑干涉儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320669954.2
• 申請日: 2013-10-28
• 公開（公告）號: CN203534532U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李鷹
• 申請（專利權(quán)）人: 卓力特光電儀器(蘇州)有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B9/02
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 范晴

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種散斑干涉儀，具體涉及一種三維相移電子散斑干涉儀，用于對物體變形后表面微位移量的精確測量。

背景技術(shù)

相移電子散斑干涉（ESPI）技術(shù)是繼光彈性和全息干涉等光測力學(xué)方法之后發(fā)展起來的一種實驗力學(xué)新方法。它直接依靠激光干涉和計算機圖像采集處理系統(tǒng)獲得干涉條紋。這種方法在工程上已得到了較廣泛的運用，可用于解決工程中的強度和剛度問題，并可用于殘余應(yīng)力測量。

三維相移ESPI技術(shù)是ESPI技術(shù)結(jié)合相移技術(shù)向三維、高精度和自動化方向的發(fā)展，具有靈敏度高、可同時獲得全場三維位移、非接觸等優(yōu)點。三維位移場的測量可通過參考型與雙光束型ESPI光路的組合來實現(xiàn)，可無需計算直接得到位移場，但光路設(shè)置復(fù)雜，需要參考型與雙光束型2套干涉光路系統(tǒng)。大剪切ESPI的方法測量三維位移，光路簡單，但適合于被測物體附近可以放置參考物的環(huán)境下。

目前的采用三維相移技術(shù)的干涉儀都存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、操作繁瑣等缺點。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型目的是：針對上述問題，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、攜帶方便的三維相移電子散斑干涉儀。

本實用新型的技術(shù)方案是：一種三維相移電子散斑干涉儀，它包括儀器座和固定在該儀器座上面的儀器殼，所述儀器殼上安裝有分別布置在該儀器殼上側(cè)、下側(cè)、左側(cè)、右側(cè)的四個反射鏡套筒，每個反射鏡套筒中均安裝有一反射鏡，所述儀器殼內(nèi)設(shè)有：一固體綠光激光器、一分光棱鏡、一壓電陶瓷相移器、以及一CCD攝像頭，所述CCD攝像頭與計算機電連接，所述分光棱鏡接收所述固體綠光激光器發(fā)出的激光束并將該激光束一分為四，由分光棱鏡分出的這四束光分別射向所述的四個反射鏡，并由所述反射鏡反射到受檢物表面。

所述儀器座上開設(shè)有四個呈矩形分布的豎直通孔。

所述三維相移電子散斑干涉儀還包括一個能夠?qū)⑺鰞x器座和儀器殼收容在其內(nèi)的防塵罩。

本實用新型的優(yōu)點是：本實用新型的這種三維相移電子散斑干涉儀，將其主要部件集中布置在一殼體內(nèi)部，從而使得本儀器具有結(jié)構(gòu)簡單合理、體型輕小、攜帶方便的特點，而且本儀器的試驗過程無須在暗室中即可進行。

附圖說明

下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：

圖1為本實用新型實施例的外觀結(jié)構(gòu)簡圖；

圖2為本實用新型實施例剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

其中：1-儀器座，2-儀器殼，3-反射鏡套筒，4-反射鏡，5-固體綠光激光器，6-分光棱鏡，7-壓電陶瓷相移器，8-CCD攝像頭。

具體實施方式

參照圖1和圖2所示，本實用新型所提供的這種三維相移電子散斑干涉儀，包括一儀器座1、以及固定在該儀器座1上面的一儀器殼2，所述儀器殼2上安裝有分別布置在該儀器殼上側(cè)、下側(cè)、左側(cè)、右側(cè)的四個反射鏡套筒3，整體呈“十字形”，每個反射鏡套筒3中均安裝有一反射鏡4。實際應(yīng)用時，需要將本干涉儀固定在水平的光學(xué)平臺上面。

如圖2所示，所述儀器殼2內(nèi)設(shè)有：一固體綠光激光器5、一分光棱鏡6、一壓電陶瓷相移器7、以及一CCD攝像頭8，所述CCD攝像頭8與計算機電連接。工作時，所述分光棱鏡6接收所述固體綠光激光器5發(fā)出的激光束并將該激光束一分為四，由分光棱鏡6分出的這四束光分別射向所述四個反射鏡套筒3中的四個反射鏡4，并由所述反射鏡4反射到受檢物表面。該儀器由高性能的固體綠光激光器5發(fā)射激光束，通過分光棱鏡6和反射鏡4的作用由四個反射鏡套筒3發(fā)射出激光光束射向受檢物表面，并在受檢物表面發(fā)生干涉，再由高精度的CCD攝像頭8采集干涉圖像并傳輸給計算機，再通過計算機中的軟件對干涉圖像進行分析，從而得到受檢物表面面內(nèi)和離面位移數(shù)據(jù)。

本例在所述儀器座1上開設(shè)有四個呈矩形分布的豎直通孔，這樣就可以通過螺釘將本儀器座1可拆分地固定在光學(xué)平臺上面。

另外，本例在所述光學(xué)平臺1上還布置有能夠?qū)⑺鰞x器座1和儀器殼2收容在其內(nèi)的防塵罩（圖中未示出）。使用儀器時，將所述防塵罩取下；儀器不使用時，將所述防塵罩蓋好。如果長期不用應(yīng)將激光發(fā)射裝置和CCD攝像機3放置在干燥箱里以免受潮。

當然，上述實施例只為說明本實用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的在于讓人們能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據(jù)本實用新型主要技術(shù)方案的精神實質(zhì)所做的等效變換或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。