[實用新型]相移剪切電子散斑干涉儀有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320669951.9 | 申請日： | 2013-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN203534518U | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李鷹 | 申請（專利權(quán)）人： | 卓力特光電儀器(蘇州)有限公司 |
| 主分類號： | G01B9/02 | 分類號： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 蘇州創(chuàng)元專利商標事務(wù)所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 相移 剪切 電子 干涉儀 | ||
1.一種相移剪切電子散斑干涉儀，其特征在于：它包括水平布置的光學(xué)平臺（1）、以及布置在該光學(xué)平臺（1）臺面上的測試架（2）和激光發(fā)射裝置（5）；
所述激光發(fā)射裝置（5）包括箱體（8）和設(shè)于該箱體內(nèi)的激光器（9），所述箱體（8）的箱體壁上開設(shè)有透光孔（10），且該透光孔（10）處安裝有位于所述箱體外部、且位于所述激光器的激光出射光路上的擴束鏡（11），所述測試架（2）上固定有位于從所述擴束鏡（11）出射的光束的光路上的受檢物（a），還包括向所述受檢物施加荷載的加載裝置；
所述箱體（8）的上面固定設(shè)置一殼體（3），該殼體（3）上安裝有位于從受檢物（a）表面反射的光束的光路上的透鏡鏡頭（4），該殼體（3）內(nèi)安裝有：位于從透鏡鏡頭（4）透射出的光束的光路上且用于得到偏振方向相互垂直的兩束光的剪切器（12）、以及位于從所述剪切器（12）出射的光束的光路上的CCD攝像機（6），所述CCD攝像機（6）與計算機相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相移剪切電子散斑干涉儀，其特征在于：所述測試架（2）的底部設(shè)有一磁性底座（7）上，該磁性底座（7）吸附固定在所述光學(xué)平臺（1）的臺面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相移剪切電子散斑干涉儀，其特征在于：所述激光發(fā)射裝置（5）通過螺絲固定在所述光學(xué)平臺（1）的臺面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的相移剪切電子散斑干涉儀，其特征在于：所述光學(xué)平臺（1）上布置有將所述測試架（2）、激光發(fā)射裝置（5）和CCD攝像機（6）收容在其內(nèi)的防塵罩。
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