[實用新型]功率器件電子輻照裝載盒有效
| 申請號: | 201320664500.6 | 申請日: | 2013-10-25 |
| 公開(公告)號: | CN203553118U | 公開(公告)日: | 2014-04-16 |
| 發明(設計)人: | 顧文炳 | 申請(專利權)人: | 上海華虹宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁紀鐵 |
| 地址: | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 功率 器件 電子 輻照 裝載 | ||
1.一種功率器件電子輻照裝載盒,包括:盒身和能安裝于所述盒身上的盒蓋,所述盒身其兩盒側壁上對應設置有凸緣,其底面設置有盒身卡槽,所述盒蓋上設置有與所述盒身卡槽對應的盒蓋卡槽,其特征是:所述裝載盒整體為一長方體結構,所述盒蓋上設置有盒蓋接口,所述盒身上設置有盒身接口,所述盒蓋接口和盒身接口對應設置能形成固定連接。
2.如權利要求1所述的功率器件電子輻照裝載盒,其特征是:所述對應設置的盒蓋卡槽和盒身卡槽大于等于25對,其開口角度為60度~90度,其開口寬度為5.5mm~9.5mm。
3.如權利要求1所述的功率器件電子輻照裝載盒,其特征是:所述盒身長度為180mm~220mm,寬度為200mm~220mm,高度為210mm~250mm。
4.如權利要求1所述的功率器件電子輻照裝載盒,其特征是:所述盒蓋長度為180mm~220mm,寬度為200mm~220mm,高度為22mm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





