[實用新型]一種擴散設備

有效

• 申請號: 201320645220.0
• 申請日: 2013-10-18
• 公開（公告）號: CN203513833U
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 張術軍;李建朋;鄭志勇;石亞芬;高奎;張繼偉
• 申請（專利權）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種擴散設備，包括用于盛放擴散用源液的源瓶(1)、氣源和擴散爐，所述源瓶(1)和所述氣源通過進氣管(2)連通，所述源瓶(1)和所述擴散爐通過出氣管(3)連通，其特征在于，還包括補液部件和液位檢測部件，所述液位檢測部件用于檢測所述源瓶(1)內所述源液的實際液位，所述源瓶中所述源液的實際液位低于預設液位，所述補液部件為所述源瓶(1)補充所述源液。

2.根據權利要求1所述的擴散設備，其特征在于，所述補液部件包括補液瓶(4)和輸液管(5)，所述液位檢測部件為通氣管(6)；所述補液瓶(4)位于所述源瓶(1)的上方，所述輸液管(5)的一端位于所述補液瓶(4)內所述源液的實際液位以下，另一端位于所述源瓶(1)內所述源液的實際液位以下，所述通氣管(6)的一端位于所述補液瓶(4)內所述源液的液位以上，另一端位于所述源瓶(1)內所述預設液位處。

3.根據權利要求2所述的擴散設備，其特征在于，所述輸液管(5)位于所述補液瓶(4)中端口與所述補液瓶(4)的底端上表面平齊。

4.根據權利要求2或3所述的擴散設備，其特征在于，所述通氣管(6)位于所述補液瓶(4)一端的上端口靠近所述補液瓶(4)的頂端。

5.根據權利要求2所述的擴散設備，其特征在于，所述輸液管(5)和所述通氣管(6)中至少一者包括兩段剛性管，兩段所述剛性管通過柔性管連通，所述輸液管(5)和／或所述通氣管(6)通過兩段所述剛性管中一者與所述補液瓶(4)連通，另一者與所述源瓶(1)連通。

6.根據權利要求5所述的擴散設備，其特征在于，所述柔性管為耐酸性柔性管。