[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320645220.0
• 申請日: 2013-10-18
• 公開（公告）號: CN203513833U
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張術(shù)軍;李建朋;鄭志勇;石亞芬;高奎;張繼偉
• 申請（專利權(quán)）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種擴(kuò)散設(shè)備，該擴(kuò)散設(shè)備主要用于加工太陽能電池片。

背景技術(shù)

太陽能電池片的加工工藝流程包括制絨、擴(kuò)散、濕法刻蝕、鍍膜和絲網(wǎng)印刷等，其中，擴(kuò)散工藝的主要目的在于進(jìn)行磷摻雜，形成P-N結(jié)。

擴(kuò)散工藝在擴(kuò)散設(shè)備內(nèi)進(jìn)行，現(xiàn)結(jié)合圖1來說明現(xiàn)有擴(kuò)散設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。由圖1可知，擴(kuò)散設(shè)備主要包括氣源1′、源瓶2′和擴(kuò)散爐3′，源瓶2′通過進(jìn)氣管4′與氣源1′連通，通過出氣管5′與擴(kuò)散爐3′連通。擴(kuò)散用源液存放在源瓶2′中，攜帶氣體經(jīng)由源瓶2′通過，與此同時攜帶一定量的源液至擴(kuò)散爐3′管內(nèi)進(jìn)行擴(kuò)散工藝。為了便于更好地理解源瓶、進(jìn)氣管和出氣管的具體結(jié)構(gòu)及連接方式，請一并參考圖2和圖3，其中，圖2示出了圖1中所示擴(kuò)散設(shè)備的源瓶、進(jìn)氣管和出氣管裝配體的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3示出了圖2中所示裝配體的俯視示意圖。

經(jīng)擴(kuò)散工藝處理后的硅片的質(zhì)量控制參數(shù)為方阻，方阻與攜帶氣體所攜帶的源液量有著密切的聯(lián)系，而攜帶氣體攜帶的源液量又受源瓶2′中的源液量限制。隨著生產(chǎn)的不斷進(jìn)行源瓶2′中的源液量不斷減少，勢必造成攜帶氣體攜帶的源液量的不斷減少，這樣將會造成產(chǎn)品的方阻值不均勻，進(jìn)而影響到太陽能電池片成品的電性能。

有鑒于此，本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待對現(xiàn)有擴(kuò)散設(shè)備結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，以保證源瓶內(nèi)源液量基本保持恒定，從而提高太陽能電池片的方阻均勻性，進(jìn)而提高太陽能電池片的電性能。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對上述缺陷，本實(shí)用新型的核心目的在于，提供一種用于加工太陽能電池片的擴(kuò)散工藝的擴(kuò)散設(shè)備，以保證源瓶內(nèi)源液量基本保持恒定，從而提高太陽能電池片方阻的均勻性，進(jìn)而優(yōu)化太陽能電池的電性能。

本實(shí)用新型所提供的一種擴(kuò)散設(shè)備，包括用于盛放擴(kuò)散用源液的源瓶、氣源和擴(kuò)散爐，所述源瓶和所述氣源通過進(jìn)氣管連通，所述源瓶和所述擴(kuò)散爐通過出氣管連通，還包括補(bǔ)液部件和液位檢測部件，所述液位檢測部件用于檢測所述源瓶內(nèi)所述源液的實(shí)際液位，所述源瓶中所述源液的實(shí)際液位低于預(yù)設(shè)液位，所述補(bǔ)液部件為所述源瓶補(bǔ)充所述源液。

優(yōu)選地，所述補(bǔ)液部件包括補(bǔ)液瓶和輸液管，所述液位檢測部件為通氣管；所述補(bǔ)液瓶位于所述源瓶的上方，所述輸液管的一端位于所述補(bǔ)液瓶內(nèi)所述源液的實(shí)際液位以下，另一端位于所述源瓶內(nèi)所述源液的實(shí)際液位以下，所述通氣管的一端位于所述補(bǔ)液瓶內(nèi)所述源液的液位以上，另一端位于所述源瓶內(nèi)所述預(yù)設(shè)液位處。

優(yōu)選地，所述輸液管位于所述補(bǔ)液瓶中端口與所述補(bǔ)液瓶的底端上表面平齊。

優(yōu)選地，所述通氣管位于所述補(bǔ)液瓶一端的上端口靠近所述補(bǔ)液瓶的頂端。

優(yōu)選地，所述輸液管和所述通氣管中至少一者包括兩段剛性管，兩段所述剛性管通過柔性管連通，所述輸液管和／或所述通氣管通過兩段所述剛性管中一者與所述補(bǔ)液瓶連通，另一者與所述源瓶連通。

優(yōu)選地，所述柔性管具體為耐酸性柔性管。

本實(shí)用新型所提供的一種擴(kuò)散設(shè)備，包括用于盛放擴(kuò)散用源液的源瓶、氣源和擴(kuò)散爐，源瓶和氣源通過進(jìn)氣管連通，源瓶和擴(kuò)散爐通過出氣管連通，還包括補(bǔ)液部件和液位檢測部件，液位檢測部件用于檢測所述源瓶內(nèi)所述源液的實(shí)際液位，所述源瓶內(nèi)所述源液的實(shí)際液位低于預(yù)設(shè)液位，補(bǔ)液部件為源瓶補(bǔ)充源液。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本方案所提供的擴(kuò)散裝置在原有源瓶的基礎(chǔ)上，引入了補(bǔ)液部件和液位檢測部件，當(dāng)源瓶內(nèi)實(shí)際液位低于預(yù)設(shè)液位時，由補(bǔ)液部件向源瓶補(bǔ)充源液直至源液實(shí)際液位升高至預(yù)設(shè)液位，將源瓶內(nèi)源液的實(shí)際液位控制基本上與預(yù)設(shè)液位平齊，以保證攜帶氣體內(nèi)的源液量基本恒定，從而實(shí)現(xiàn)提高太陽能電池片方阻的均勻性的目的。

本實(shí)用新型的一優(yōu)選方案中，補(bǔ)液部件包括補(bǔ)液瓶和輸液管，液位檢測部件為通氣管；補(bǔ)液瓶位于源瓶的上方，輸液管的一端位于補(bǔ)液瓶內(nèi)源液的實(shí)際液位以下，另一端位于源瓶內(nèi)源液的實(shí)際液位以下，通氣管的一端位于補(bǔ)液瓶內(nèi)源液的液位以上，另一端位于源瓶內(nèi)預(yù)設(shè)液位處。

當(dāng)源瓶內(nèi)源液的實(shí)際液位與預(yù)設(shè)液位平齊時，通氣管上位于源瓶內(nèi)一端封閉，補(bǔ)液瓶內(nèi)位于源液實(shí)際液位以上空間內(nèi)壓強(qiáng)恒定，補(bǔ)液瓶內(nèi)源液停止流動；當(dāng)源瓶內(nèi)源液的實(shí)際液位低于預(yù)設(shè)液位時，通氣管上位于源瓶內(nèi)一端開啟，補(bǔ)液瓶內(nèi)位于源液實(shí)際液位以上空間內(nèi)壓強(qiáng)增大，在該壓強(qiáng)作用下補(bǔ)液瓶內(nèi)源液由輸液管流動至源瓶，直至源瓶內(nèi)實(shí)際液位與預(yù)設(shè)液位平齊。