[實(shí)用新型]紫外雪崩二極管測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320642914.9
• 申請(qǐng)日: 2013-10-18
• 公開（公告）號(hào): CN203490338U
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申志輝;羅木昌;周勛;龍維剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十四研究所
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26
• 代理公司: 重慶輝騰律師事務(wù)所 50215
• 代理人: 侯懋琪;侯春樂

技術(shù)領(lǐng)域

????本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體器件測(cè)試裝置，尤其涉及一種紫外雪崩二極管測(cè)試裝置。

背景技術(shù)

雪崩二極管（APD）是高速、高靈敏度的光電二極管，與PIN光電二極管相比，APD可以測(cè)量更微弱的光信號(hào)，并具有更低的噪聲。

紫外雪崩二極管是雪崩二極管的一種，我國(guó)對(duì)于紫外雪崩二極管的研究起步較晚，缺少合適的測(cè)試設(shè)備，尤其是光學(xué)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)基本依賴國(guó)外進(jìn)口；由于這些進(jìn)口設(shè)備一般都定位于高精度測(cè)試項(xiàng)目，導(dǎo)致設(shè)備價(jià)格高昂、操作復(fù)雜，難以滿足大批量、高效率的常規(guī)測(cè)試需求。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)背景技術(shù)中的問題，本實(shí)用新型提出了一種紫外雪崩二極管測(cè)試裝置，其結(jié)構(gòu)為：所述測(cè)試裝置由光源、導(dǎo)軌、光學(xué)組件、夾具和殼體組成；光源、光學(xué)組件和夾具順次設(shè)置于導(dǎo)軌上，且光源、光學(xué)組件和夾具均與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接；殼體將光源、導(dǎo)軌、光學(xué)組件和夾具包裹在內(nèi)；待測(cè)件設(shè)置于夾具上，待測(cè)件與一測(cè)試源表相連。

本發(fā)明的工作原理是：測(cè)試之前，預(yù)先調(diào)節(jié)好光源、光學(xué)組件和夾具的相互位置，并通過鎖緊裝置固定。裝夾好待測(cè)件后，先將測(cè)試源表的電壓置零，記錄待測(cè)件在暗條件下的電流值Id1，然后點(diǎn)亮光源，讓光源發(fā)出的光照射到待測(cè)件上，記錄待測(cè)件在零偏置電壓下的光生電流值Ip1；增大測(cè)試源表電壓至待測(cè)件的光生電流值顯著增大，記錄此時(shí)的光生電流值Ip2，然后關(guān)閉光源，記錄待測(cè)件的暗電流值Id2。將測(cè)試過程中記錄到的參數(shù)代入公式M=（Ip2-Id2）/(Ip1-Id1)進(jìn)行計(jì)算，即可獲得待測(cè)件在對(duì)應(yīng)偏置電壓下的雪崩增益值M。

本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，可通過導(dǎo)軌對(duì)光源、光學(xué)組件和夾具的位置進(jìn)行方便、靈活的調(diào)節(jié)，雖然其測(cè)量精度不如現(xiàn)有設(shè)備，但操作特別簡(jiǎn)單，測(cè)試效率很高，十分適合大批量器件的常規(guī)測(cè)試需求。

優(yōu)選地，所述待測(cè)件為紫外雪崩二極管。

優(yōu)選地，所述光源采用紫外LED。

優(yōu)選地，所述紫外LED的中心波長(zhǎng)范圍為200nm~400nm.。

為了較為精確地調(diào)節(jié)間距，優(yōu)選地，所述導(dǎo)軌上設(shè)置有刻度。

優(yōu)選地，所述光學(xué)組件包括透鏡、衰減片和光學(xué)狹縫。具體應(yīng)用時(shí)，本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)需求將透鏡、衰減片和光學(xué)狹縫進(jìn)行組合搭配，且透鏡、衰減片和光學(xué)狹縫的相互位置及他們與光源、夾具的相互位置都可獨(dú)立調(diào)節(jié)。

優(yōu)選地，所述殼體上端面設(shè)置有翻蓋。

本實(shí)用新型的有益技術(shù)效果是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉，操作十分簡(jiǎn)單、方便，可滿足對(duì)大批量器件進(jìn)行高效測(cè)試的需求。

附圖說明

圖1、本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中各個(gè)標(biāo)記所對(duì)應(yīng)的部件分別為：光源1、導(dǎo)軌2、透鏡3、衰減片/光學(xué)狹縫4、待測(cè)件5、夾具6、殼體7、測(cè)試源表8。

具體實(shí)施方式

一種紫外雪崩二極管測(cè)試裝置，其結(jié)構(gòu)為：所述測(cè)試裝置由光源1、導(dǎo)軌2、光學(xué)組件、夾具6和殼體7組成；光源1、光學(xué)組件和夾具6順次設(shè)置于導(dǎo)軌2上，且光源1、光學(xué)組件和夾具6均與導(dǎo)軌2滑動(dòng)連接；殼體7將光源1、導(dǎo)軌2、光學(xué)組件和夾具6包裹在內(nèi)；待測(cè)件設(shè)置于夾具6上，待測(cè)件與一測(cè)試源表相連。

進(jìn)一步地，所述待測(cè)件為紫外雪崩二極管。

進(jìn)一步地，所述光源1采用紫外LED。

進(jìn)一步地，所述紫外LED的中心波長(zhǎng)范圍為200nm~400nm.。

進(jìn)一步地，所述導(dǎo)軌2上設(shè)置有刻度。

進(jìn)一步地，所述光學(xué)組件包括透鏡、衰減片和光學(xué)狹縫。

進(jìn)一步地，所述殼體7上端面設(shè)置有翻蓋。