[實用新型]一種化學液相沉積裝置

有效

• 申請號: 201320642796.1
• 申請日: 2013-10-17
• 公開（公告）號: CN203639555U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 周挺
• 申請（專利權）人: 西安誠瑞科技發展有限公司
• 主分類號: C23C18/00
• 分類號: C23C18/00;F28B1/02
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 汪人和

技術領域

本實用新型屬于化學液相沉積設備技術領域，涉及一種化學液相沉積裝置。

背景技術

隨著碳／碳、碳／陶等復合材料的不斷發展，復合材料的致密化是主要工藝瓶頸，目前用來增加碳／碳、碳／陶等復合材料致密化，主要采用化學氣相沉積裝置，實現碳／碳、碳／陶等復合材料增密。然而這種化學氣相沉積裝置的增密工藝過程及時間較長，一般從數百小時乃致數月才能完成。存在著工作效率極低，大大的浪費了能源和時間，產品成本高等缺陷。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服上述現有技術的缺點，提供一種化學液相沉積裝置，該裝置采用螺旋管式冷凝器，能夠提高廢氣回收率，減小排放量。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來解決的：

這種化學液相沉積裝置，包括爐體和真空系統；所述爐體左面的真空系統與爐體的頂端連接，爐體的上部分別連接有冷凝器、冷卻水進水管和出水管，爐體的中部設有引電引出法蘭，爐體的底部設置底座，底座上放置被加熱制品，被加熱制品的中心置有發熱體，被加熱制品的外圍設有感應器，感應器與變頻電源連接，在爐體的下部內置有含碳元素低分子化合物液體，它通過管路接入液體補給器，水箱通過管路與爐體上部的的冷凝器、冷卻水進水管和出水管分別連接進行水循環；所述冷凝器為螺旋管式冷凝器，在螺旋管式冷凝器的殼體內設置有螺旋通流管，所述螺旋通流管外設置有冷凝片。

上述螺旋管式冷凝器的螺旋通流管在殼體內沿殼體的中心軸螺旋盤繞，且在徑向設置有多層盤繞的螺旋通流管。

上述冷凝片為環片狀，若干冷凝片間隔套設在螺旋通流管上。

上述冷凝片為矩形片狀，多個冷凝片成發散狀圍繞殼體的中心軸布置，所述螺旋通流管依次穿過各冷凝片。

本實用新型具有以下有益效果：

本實用新型的化學液相沉積裝置采用螺旋管式冷凝器，采用螺旋通流管加關外冷凝片的形式，相比現有技術的板式冷凝器有效增大了流通截面積，并且冷凝面積比現有板式冷凝器提高三十多倍。有效提高了廢氣回收率，減小了排放量，減輕了環境污染。

附圖說明

圖1為本實用新型的感應式加熱主視剖視圖；

圖2為本實用新型的電阻加熱式主視剖視圖；

圖3為本實用新型的螺旋管式冷凝器剖視圖；

圖4為圖3的俯視圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步詳細描述：

參照圖1所示，該圖為感應式加熱主視剖面圖，包括爐體3、真空系統1、液體補給器2、水箱7、電源8。爐體3是雙層結構，內外層之間可注入冷水或氣體。爐體3左面為真空系統1，與爐體3的頂端相連接。爐體3的上部分別連接有冷凝器12、冷卻水進水管13和出水管14。爐體3的中部設有引電引出法蘭9。在爐體3的底部設有底座10。底座10上放置被加熱制品5。被加熱制品5的中心置有發熱體4，被加熱制品5的外圍設有感應器6，感應器6與變頻電源8連接。在爐體3的下部內置有含碳元素低分子化合物液體11.它通過管路接入液體補給器2。水箱7通過管路與爐體3上部的冷凝器12、冷卻水進水管13和出水管14分別連接進行水循環。

由于含碳元素低分子化合物液體11受熱后，一部分元素進入被加熱制品5內，另一部分被蒸發，使含碳元素低分子化合物液體11的液位降低。因此，要經常觀察其液位變化，隨時通過液體補給器2補充液體。圖2為圖1的另一種實施方式，其區別在于被加熱制品5的中心只置有發熱體4，發熱體4與直流或交流電源8連接，取消了感應器6。其他與附圖1相同。

本實用新型的所述冷凝器12為螺旋管式冷凝器，在螺旋管式冷凝器的殼體12-1內設置有螺旋通流管12-2，所述螺旋通流管12-2外設置有冷凝片12-3。所述螺旋管式冷凝器的螺旋通流管12-2在殼體12-1內沿殼體12-1的中心軸螺旋盤繞，且在徑向設置有多層盤繞的螺旋通流管12-2。

本實用新型的冷凝片12-3有兩種形式，其中一種如圖3和圖4所示，冷凝片12-3為環片狀，若干冷凝片12-3間隔套設在螺旋通流管12-2上。另一種冷凝片為矩形片狀，多個冷凝片成發散狀圍繞殼體12-1的中心軸布置，所述螺旋通流管12-2依次穿過各冷凝片。

使用了本實用新型的螺旋管式冷凝器后，其流通截面積比現有的板式冷凝器提高了210倍，冷凝面積提高了30.9倍。