[實用新型]一種化學液相沉積裝置

有效

• 申請號: 201320642796.1
• 申請日: 2013-10-17
• 公開（公告）號: CN203639555U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 周挺
• 申請（專利權）人: 西安誠瑞科技發展有限公司
• 主分類號: C23C18/00
• 分類號: C23C18/00;F28B1/02
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 汪人和

1.一種化學液相沉積裝置，其特征在于，包括爐體(3)和真空系統(1)；所述爐體(3)左面的真空系統(1)與爐體(3)的頂端連接，爐體(3)的上部分別連接有冷凝器(12)、冷卻水進水管(13)和出水管(14)，爐體(3)的中部設有引電引出法蘭(9)，爐體(3)的底部設置底座(10)，底座(10)上放置被加熱制品(5)，被加熱制品(5)的中心置有發熱體(4)，被加熱制品(5)的外圍設有感應器(6)，感應器(6)與變頻電源(8)連接，在爐體(3)的下部內置有含碳元素低分子化合物液體(11)，它通過管路接入液體補給器(2)，水箱(7)通過管路與爐體(3)上部的的冷凝器(12)、冷卻水進水管(13)和出水管(14)分別連接進行水循環；所述冷凝器（12）為螺旋管式冷凝器，在螺旋管式冷凝器的殼體（12-1）內設置有螺旋通流管（12-2），所述螺旋通流管（12-2）外設置有冷凝片（12-3）。

2.根據權利要求1所述的化學液相沉積裝置，其特征在于，所述螺旋管式冷凝器的螺旋通流管（12-2）在殼體（12-1）內沿殼體（12-1）的中心軸螺旋盤繞，且在徑向設置有多層盤繞的螺旋通流管（12-2）。

3.根據權利要求1所述的化學液相沉積裝置，其特征在于，所述冷凝片（12-3）為環片狀，若干冷凝片（12-3）間隔套設在螺旋通流管（12-2）上。

4.根據權利要求1所述的化學液相沉積裝置，其特征在于，所述冷凝片（12-3）為矩形片狀，多個冷凝片成發散狀圍繞殼體（12-1）的中心軸布置，所述螺旋通流管（12-2）依次穿過各冷凝片。