[實用新型]一種用于金屬有機化學氣相沉積設備的噴霧器

有效

• 申請號: 201320639771.6
• 申請日: 2013-10-17
• 公開（公告）號: CN203487234U
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 高婷;孫鷗
• 申請（專利權）人: 黑龍江大學
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域：

本實用新型涉及一種用于金屬有機化學氣相沉積設備的噴霧器，屬于有機化學技術領域。

背景技術：

有機化學又稱為碳化合物的化學，是研究有機化合物的結構、性質、制備的學科，是化學中極重要的一個分支。含碳化合物被稱為有機化合物是因為以往的化學家們認為含碳物質一定要由生物（有機體）才能制造；然而在1828年的時候，德國化學家弗里德里希·維勒，在實驗室中成功合成尿素（一種生物分子），自此以后有機化學便脫離傳統所定義的范圍，擴大為含碳物質的化學。

在真空狀態下制備半導體材料需要將不同反應氣體分別送入反應室，由于反應氣體的性質特殊，在送入反應室之前反應氣體必須分層隔離且需要冷卻，在將不同氣體送入反應室后，又要求反應氣體在襯底表面充分均勻混合，因而一般都采用噴霧器裝置進行送氣。現有的噴霧在送入反應室之前反應氣體的冷卻效果達不到理想效果，浪費能源，而且冷卻排出時浪費時間，降低工作效率。

實用新型內容：

針對上述問題，本實用新型提供一種用于金屬有機化學氣相沉積設備的噴霧器。

本實用新型的一種用于金屬有機化學氣相沉積設備的噴霧器，它包含上蓋、箱體、進水管、出水管、進氣管一、進氣管二、進氣室一、進氣室二、反應室，它還包含螺紋管道、噴射管、支柱、傳感器、導流板，箱體的上端安裝有上蓋，箱體的兩端分別安裝有進水管、出水管，上蓋上安裝有進氣管一、進氣管二，氣管一、進氣管二分別與進氣室一、進氣室二連接，進氣室一、進氣室二的下端安裝有反應室，反應室的下端安裝有支柱，支柱上安裝有傳感器，箱體的底部安裝有導流板，箱體的內壁設置有螺紋管道，螺紋管道上安裝有噴射管。

作為優選，所述的螺紋管道為逆向螺旋纏繞螺紋管道。

作為優選，所述的導流板上設置有導流槽。

作為優選，所述的傳感器為重量傳感器。

本實用新型的有益效果為：使得冷卻水形成湍流，流動時既有縱向擾動，又有旋轉運動，徹底破壞了熱邊界層，并且流體在向前運動過程中連續改變方向，能使得冷卻水順利的流出循環，使用方便，操作簡便。

附圖說明：

為了易于說明，本實用新型由下述的具體實施及附圖作以詳細描述。

圖1為本實用新型結構示意圖。

圖中：1-上蓋；2-箱體；3-進水管；4-出水管；5-進氣管一；6-進氣管二；7-進氣室一；8-進氣室二；9-反應室；10-螺紋管道；11-噴射管；12-支柱；13-傳感器；14-導流板。

具體實施方式：

為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚明了，下面通過附圖中示出的具體實施例來描述本實用新型。但是應該理解，這些描述只是示例性的，而并非要限制本實用新型的范圍。此外，在以下說明中，省略了對公知結構和技術的描述，以避免不必要地混淆本實用新型的概念。

如圖1所示，本具體實施方式采用以下技術方案：它包含上蓋1、箱體2、進水管3、出水管4、進氣管一5、進氣管二6、進氣室一7、進氣室二8、反應室9，它還包含螺紋管道10、噴射管11、支柱12、傳感器13、導流板14，箱體2的上端安裝有上蓋1，箱體2的兩端分別安裝有進水管3、出水管4，上蓋1上安裝有進氣管一5、進氣管二6，氣管一5、進氣管二6分別與進氣室一7、進氣室二8連接，進氣室一7、進氣室二8的下端安裝有反應室9，反應室9的下端安裝有支柱12，支柱12上安裝有傳感器13，箱體2的底部安裝有導流板14，箱體2的內壁設置有螺紋管道10，螺紋管道10上安裝有噴射管11。

進一步的，所述的螺紋管道10為逆向螺旋纏繞螺紋管道。

進一步的，所述的導流板14上設置有導流槽。

進一步的，所述的傳感器13為重量傳感器。

本具體實施方式的工作原理為：采用螺紋管道10傳輸，使得冷卻水形成湍流，流動時既有縱向擾動，又有旋轉運動，徹底破壞了熱邊界層，并且流體在向前運動過程中連續改變方向，導流板14能使得冷卻水順利的流出循環，傳感器13能看出反應的重量的數值，使用方便，操作簡便。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。