[實用新型]一種用于金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備的噴霧器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320639771.6
• 申請日: 2013-10-17
• 公開（公告）號: CN203487234U
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高婷;孫鷗
• 申請（專利權(quán)）人: 黑龍江大學(xué)
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備的噴霧器，它包含上蓋(1)、箱體(2)、進(jìn)水管(3)、出水管(4)、進(jìn)氣管一(5)、進(jìn)氣管二(6)、進(jìn)氣室一(7)、進(jìn)氣室二(8)、反應(yīng)室(9)，其特征在于：它還包含螺紋管道(10)、噴射管(11)、支柱(12)、傳感器(13)、導(dǎo)流板(14)，箱體(2)的上端安裝有上蓋(1)，箱體(2)的兩端分別安裝有進(jìn)水管(3)、出水管(4)，上蓋(1)上安裝有進(jìn)氣管一(5)、進(jìn)氣管二(6)，氣管一(5)、進(jìn)氣管二(6)分別與進(jìn)氣室一(7)、進(jìn)氣室二(8)連接，進(jìn)氣室一(7)、進(jìn)氣室二(8)的下端安裝有反應(yīng)室(9)，反應(yīng)室(9)的下端安裝有支柱(12)，支柱(12)上安裝有傳感器(13)，箱體(2)的底部安裝有導(dǎo)流板(14)，箱體(2)的內(nèi)壁設(shè)置有螺紋管道(10)，螺紋管道(10)上安裝有噴射管(11)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備的噴霧器，其特征在于：所述的螺紋管道(10)為逆向螺旋纏繞螺紋管道。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備的噴霧器，其特征在于：所述的導(dǎo)流板(14)上設(shè)置有導(dǎo)流槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備的噴霧器，其特征在于：所述的傳感器(13)為重量傳感器。