[實用新型]一種線性蒸發源以及蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201320636959.5
• 申請日: 2013-10-15
• 公開（公告）號: CN203546136U
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 蘇志瑋;王演隆
• 申請（專利權）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 黃嵩泉;呂俊清

技術領域

本實用新型涉及一種真空熱蒸發裝置，且特別涉及一種線性蒸發源以及蒸鍍設備。?

背景技術

近年來，使用有機電致發光(Electro?Luminescence：以下稱“有機EL”)組件的有機EL顯示裝置，已取代CRT及LCD的顯示裝置而受到囑目，正研究開發一種具備例如用以驅動該有機EL組件的薄膜晶體管(Thin?Film?Transistor：以下稱“TFT”)的有機EL顯示裝置。?

有機EL組件被依序層積形成：由ITO(Indium?Tin?Oxide氧化銦錫)等的透明電極所形成的陽極；由MTDATA(4，4-雙(3-甲基苯基苯氨基)聯苯)等第1空穴輸送層、TPD(4，4，4-三(3-甲基苯基苯氨基)三苯胺)等第2空穴輸送層所構成的空穴輸送層；包含啶酮(Quinacridone)衍生物的Bebq2(10-苯弁[h]輕基喹啉-鈹絡合物(10-benzo[h]quinolinol-beryllium?complex))所形成的發光層；由Bebq2所形成的電子輸送層；及由鋁合金所形成的陰極的構造。?

如上所述的有機EL組件通過用以驅動該有機EL組件的驅動用TFT供給電流而發光。即，從陽極所注入的空穴與從陰極所注入的電子在發光層內部再結合，激發用以形成發光層的有機分子而產生激發子(exdton)。在該激發子放射失活的過程中由發光層發光，該光會從透明的陽極經由透明的陽極及玻璃基板等絕緣性基板放出至外部而進行發光。?

上述有機EL組件的各層中，用于形成空穴輸送層、發光層、電子輸送層的有機材料具有耐溶劑性低、不耐水分的特性。因此無法利用半導體工藝的光刻技術。目前，一般都是通過使用蒸鍍法，使上述有機材料選擇性蒸鍍在具備驅動用TFT的絕緣性基板上，以形成有機EL組件的空穴輸送層、發光層、電子輸送層及陰極的圖案。?

蒸鍍法是一種屬于物理氣相沉積的真空鍍膜技術。它是將蒸鍍的材料置于一個坩鍋之中，通過對坩鍋加熱，使材料從固態轉化為氣態的原子、原子團或分子，然后凝聚到待鍍膜的基板表面形成薄膜。該技術廣泛應用于太陽能電池、半導體晶片、平板顯示、光學鏡片等領域。?

對蒸鍍機而言，有機材料的充填是十分重要的一個環節，對于由人員來執行的有機材料裝填動作勢必要做到嚴格控管，目前的控管機制及其存在的缺點為：?

1、將條形碼安裝于坩鍋盒上，坩鍋上機前讀取坩鍋盒上條形碼，于CIM端確認坩鍋來源正確性；?

缺點：條形碼安裝位置為坩鍋盒上，非坩鍋本體。由于目前的坩鍋僅分為兩類，而同類型的坩鍋外形尺寸皆相同，若放錯仍能正常安裝上機，坩鍋上機管控機制將會失效，使有機材料錯誤地裝填，進而導致產品報廢。?

2、將條形碼安裝于坩鍋上，坩鍋上機并由機臺上讀碼機讀取條形碼，于CIM端確認坩鍋正確性；?

缺點：機臺上無適當位置安裝讀碼機，目前無法使用此方法控管。?

實用新型內容

針對現有技術中的缺陷，本實用新型的目的是提供一種線性蒸發源以及蒸鍍設備。?

根據本實用新型的一個方面提供一種線性蒸發源，包括：固定塊；坩鍋，所述坩鍋固定于所述固定塊之間，其內部裝有有機材料，對待加工基板進行鍍膜；坩鍋斷熱塊，所述坩鍋斷熱塊位于所述坩鍋的兩側；側蓋板，所述側蓋板位于所述坩鍋斷熱塊的外側；其特征在于，所述坩鍋斷熱塊上設有至少一個導向栓，所述坩鍋的側面設有與所述導向栓數量相同且位置對應的鉆孔，運行時，每根所述導向栓均插入相對應的所述鉆孔內，所述側蓋板裝于所述線性蒸發源的最外側。?

優選地，兩側的所述坩鍋斷熱塊上各設有至少一個導向栓，且兩側的所述坩鍋斷熱塊上設置的導向栓的數量相同。?

優選地，兩側的所述坩鍋斷熱塊上設置的導向栓的位置沿所述坩鍋的中心線左右對稱。?

優選地，兩側的所述坩鍋斷熱塊上各設有一個導向栓，相應地，所述坩鍋上與所述坩鍋斷熱塊對應地設有一鉆孔。?

優選地，兩側的所述坩鍋斷熱塊上各設有兩個導向栓，兩個所述導向栓上下設置，相應地，所述坩鍋上與所述坩鍋斷熱塊上兩個所述導向栓對應地設有兩個鉆孔。?

優選地，每一側的兩個所述導向栓之間的距離為2mm。?

優選地，每一側的兩個所述導向栓之間的距離為6mm。?

優選地，兩側的所述坩鍋斷熱塊上各設有三個導向栓，三個導向栓上下設置，相應地，所述坩鍋上與所述坩鍋斷熱塊上的三個所述導向栓對應地設有三個鉆孔。?

優選地，每一側的兩個相鄰的所述導向栓之間的距離均為2mm。?